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대상체가 칼코겐화 반응되는 챔버; 및상기 대상체를 상기 챔버로 이송하는 이송 수단;을 포함하고,대상체를 로딩하는 대상체 로딩부;상기 챔버의 내측에 위치하고, 상기 대상체 로딩부에서 이송된 상기 대상체 상에 칼코겐 소스를 위치시키고, 상기 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재를 상기 대상체와 상기 칼코겐 소스 사이에 개재시키는 결합부;상기 챔버의 내측에 위치하고, 상기 결합부에서 이송된 상기 칼코겐 소스를 가열하여, 상기 칼코겐 소스가 상기 미세 기공체 부재의 상기 미세 기공을 통하여 상기 대상체에 도달하여 칼코겐화 반응함으로써, 칼코겐화된 대상체를 형성하는 칼코겐화 형성부; 및 상기 챔버의 내측에 위치하고, 상기 미세 기공체 부재를 칼코겐화된 대상체로부터 분리하는 분리부;를 포함하고, 상기 이송 수단은 상기 대상체를 상기 대상체 로딩부, 상기 결합부, 상기 칼코겐화 형성부, 및 상기 분리부에 순차적으로 이송하고,상기 미세 기공체 부재에 포함된 상기 미세 기공은, 액상의 칼코겐 소스는 통과시키지 않고 기상의 칼코겐 소스는 통과시키는 크기를 가지는, 태양 전지 제조장치
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2
제 1 항에 있어서,상기 결합부는 제1 칼코겐 소스를 제공하는 제1 결합부와 제2 칼코겐 소스를 제공하는 제2 결합부를 포함하고,상기 칼코겐화 형성부는 제1 칼코겐화 형성부와 제2 칼코겐화 형성부를 포함하고,상기 분리부는 제1 분리부와 제2 분리부를 포함하고,상기 이송 수단은 상기 대상체를 상기 제1 결합부, 상기 제1 칼코겐화 형성부, 상기 제1 분리부, 상기 제2 결합부, 상기 제2 칼코겐화 형성부, 및 상기 제2 분리부에 순차적으로 이송하는, 태양 전지 제조 장치
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3
제 1 항에 있어서,상기 챔버는 제1 챔버와 제2 챔버를 포함하고,상기 결합부는 제1 칼코겐 소스를 제공하는 제1 결합부와 제2 칼코겐 소스를 제공하는 제2 결합부를 포함하고,상기 칼코겐화 형성부는 제1 칼코겐화 형성부와 제2 칼코겐화 형성부를 포함하고,상기 분리부는 제1 분리부와 제2 분리부를 포함하고,상기 제1 챔버는 제1 결합부, 제1 칼코겐화 형성부, 및 제1 분리부를 포함하고, 상기 제2 챔버는 제2 결합부, 제2 칼코겐화 형성부, 및 제2 분리부를 포함하고, 상기 이송 수단은 상기 대상체를 상기 제1 결합부, 상기 제1 칼코겐화 형성부, 상기 제1 분리부, 상기 제2 결합부, 상기 제2 칼코겐화 형성부, 및 상기 제2 분리부에 순차적으로 이송하는, 태양 전지 제조 장치
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4
제 2 항 또는 제 3항에 있어서,상기 제1 칼코겐 소스는 셀레늄(Se)을 포함하고, 상기 제2 칼코겐 소스는 황(Se)을 포함하는, 태양 전지 제조 장치
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5
제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 부재는 1
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 미세 기공체 부재에 포함된 상기 미세 기공은, 하기의 식에 따른 반경을 가지는, 태양 전지 제조 장치
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8
대상체가 제1 칼코겐화 반응되는 제1 챔버;상기 대상체가 제2 칼코겐화 반응되는 제2 챔버; 및상기 대상체를 상기 제1 챔버 및 제2 챔버로 이송하는 이송 수단;을 포함하고,상기 제1 챔버의 외측에 위치하고 대상체를 로딩하는 대상체 로딩부;상기 제1 챔버의 내측에 위치하고, 상기 대상체 로딩부에서 이송된 상기 대상체 상에 제1 칼코겐 소스를 위치시키고, 상기 제1 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재를 상기 대상체와 상기 제1 칼코겐 소스 사이에 개재시키는 제1 결합부;상기 제1 챔버의 내측에 위치하고, 상기 제1 결합부에서 이송된 상기 제1 칼코겐 소스를 가열하여, 상기 제1 칼코겐 소스가 상기 미세 기공체 부재의 상기 미세 기공을 통하여 상기 대상체에 도달하여 제1 칼코겐화 반응함으로써, 제1 칼코겐화된 대상체를 형성하는 제1 칼코겐화 형성부; 및 상기 제1 챔버의 내측에 위치하고, 상기 미세 기공체 부재를 제1 칼코겐화된 대상체로부터 분리하는 제1 분리부;상기 제1 챔버의 외측에 위치하고 상기 제1 칼코겐화된 대상체를 상기 제1 챔버로부터 상기 제2 챔버로 이송하는 챔버간 이송부;상기 제2 챔버의 내측에 위치하고, 상기 챔버간 이송부에서 이송된 상기 제1 칼코겐화된 대상체 상에 제2 칼코겐 소스를 위치시키고, 상기 제2 칼코겐 소스가 통과하는 크기를 가지는 미세 기공을 포함하는 미세 기공체 부재를 상기 제1 칼코겐화된 대상체와 상기 제2 칼코겐 소스 사이에 개재시키는 제2 결합부;상기 제2 챔버의 내측에 위치하고, 상기 제2 결합부에서 이송된 상기 제2 칼코겐 소스를 가열하여, 상기 제2 칼코겐 소스가 상기 미세 기공체 부재의 상기 미세 기공을 통하여 상기 제1 칼코겐화된 대상체에 도달하여 제2 칼코겐화 반응함으로써, 제2 칼코겐화된 대상체를 형성하는 제2 칼코겐화 형성부; 및 상기 제2 챔버의 내측에 위치하고, 상기 미세 기공체 부재를 제2 칼코겐화된 대상체로부터 분리하는 제2 분리부; 및상기 제2 챔버의 외측에 위치하고, 상기 제2 분리부에서 이송된 상기 제2 칼코겐화된 대상체를 언로딩하는 대상체 언로딩부;를 포함하고,상기 이송 수단은 상기 대상체를 상기 대상체 로딩부, 상기 제1 결합부, 상기 제1 칼코겐화 형성부, 상기 제1 분리부, 챔버간 이송부, 상기 제2 결합부, 상기 제2 칼코겐화 형성부, 상기 제2 분리부, 및 상기 대상체 언로딩부에 순차적으로 이송하는, 태양 전지 제조 장치
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