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유연한 재질의 기판;상기 기판 위에 형성된 후면전극,상기 후면전극 위에 형성된 CIGS 광흡수층;상기 CIGS 광흡수층 위에 형성된 버퍼층; 및상기 버퍼층 위에 형성된 전면전극을 포함하여 구성되며,상기 후면전극은 단일층으로 구성된 Na 첨가 금속 전극층인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 후면전극의 비저항이 5×10-4Ω㎝ 이하인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 기판은 폴리이미드와 같은 폴리머 또는 스테인리스강 포일과 같은 금속 포일인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 후면전극의 금속 전극층이 Mo 전극층인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 기판과 상기 후면전극의 접착성을 향상시키는 접착층이, 상기 기판과 상기 후면전극의 사이에 추가된 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지
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6
청구항 1 내지 청구항 5 중에 하나의 태양전지에 포함되는 후면전극을 형성하는 방법으로서,Na가 도핑된 금속 타깃을 이용한 스퍼터링 공정으로 단일층으로 구성된 Na 첨가 금속 전극층을 형성하며, 상기 스퍼터링 공정은 0
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7
청구항 6에 있어서,상기 스퍼터링 공정이 타깃에 대한 면적당 1
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청구항 6에 있어서,상기 금속 타깃의 금속이 Mo인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 후면전극 형성방법
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청구항 8에 있어서,상기 금속 타깃에 도핑된 Na의 양이 0
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유연기판을 준비하는 단계;상기 기판 위에 후면전극층을 형성하는 단계;상기 후면전극층 위에 CIGS를 포함하는 CIGS 광흡수층을 형성하는 단계;상기 CIGS 광흡수층 위에 버퍼층을 형성하는 단계; 및상기 버퍼층 위에 전면전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 후면전극층을 형성하는 단계가, 단일층으로 구성된 Na 첨가 금속 전극층을 형성하는 공정으로 구성되는 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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11
청구항 10에 있어서,상기 Na 첨가 금속 전극층을 형성하는 공정이, Na가 도핑된 타깃을 이용한 스퍼터링 공정인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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12
청구항 11에 있어서,상기 스퍼터링 공정이 타깃에 대한 면적당 0
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청구항 12에 있어서,상기 스퍼터링 공정이 타깃에 대한 면적당 2~5 W/cm2 범위의 출력밀도로 수행되는 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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14
청구항 12에 있어서,상기 금속 타깃의 금속이 Mo인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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15
청구항 12에 있어서,상기 금속 타깃에 도핑된 Na의 양이 0
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청구항 10에 있어서,상기 CIGS 광흡수층을 형성하는 단계 전에, 상기 Na 첨가 금속 전극층의 표면에 형성된 Na 화합물을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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청구항 16에 있어서,상기 Na 화합물을 제거하는 단계가, 용매를 이용하여 Na 화합물을 세척하여 수행되는 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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청구항 17에 있어서,상기 용매가 물, 에탄올, 메탄올 및 글리세롤 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 Na 공급 방법이 개선된 유연기판 CIGS 태양전지의 제조방법
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