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광원에서 조사된 광을 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 적어도 하나 이상의 집광 부재 및 광경로 분리 부재를 형성한 집광 및 광경로 분리 부재 웨이퍼를 마련하는 단계;상기 광원, 상기 광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기 및 상기 집광 및 광경로 분리 부재 사이의 광경로가 형성되는 적어도 하나 이상의 광학 벤치를 형성한 광학벤치 웨이퍼를 마련하는 단계;상기 집광 및 광경로 분리부재 웨이퍼와, 상기 광학 벤치 웨이퍼를 결합하여 집적 광픽업 조립체 웨이퍼를 형성하고, 이 광픽업 조립체 웨이퍼를 다이싱하여, 집적 광픽업 조립체를 형성하는 단계; 및상기 집적 광픽업 조립체를 와이어링하고 패키징하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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광원에서 조사된 광을 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 집광 및 광경로 분리 부재를 형성한 적어도 하나 이상의 집광부재 및 광경로 분리 부재 웨이퍼를 마련하는 단계;상기 광원, 상기 광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기 및 상기 집광 및 광경로 분리 부재 사이의 광경로가 형성되는 적어도 하나 이상의 광학 벤치를 형성한 광학벤치 웨이퍼를 마련하는 단계;상기 집광 및 광경로 분리부재 웨이퍼와, 상기 광학 벤치 웨이퍼를 다이싱하고 이 다이싱에 의해 각각 얻어진 집광 및 광경로 분리부재와 광학벤치를 결합하여, 집적 광픽업 조립체를 형성하는 단계; 및상기 집적 광픽업 조립체를 와이어링하고 패키징하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광학벤치에는상기 광경로가 형성되도록 제1측부, 바닥부 및 상기 제1측부와 반대쪽에 위치한 제2측부를 형성하는 단계상기 바닥부에 전극을 형성하고 상기 광원을 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 광학 벤치의 바닥부 또는 상기 제2측부에 상기 메인 광검출기를 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 광원쪽에서 입사되는 광을 상기 집광 및 광경로 분리부재쪽으로 반사시키는 제1면을 상기 제1측부에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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6
제4항에 있어서, 상기 광원의 출력 광강도를 모니터링하는 모니터 광검출기를 상기 메인 광검출기와 동일 면에 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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7
제6항에 있어서, 상기 모니터 광검출기를 상기 바닥부에 설치하되, 상기 광원을 사이에 두고 상기 메인 광검출기와 상기 모니터링 광검출기가 양쪽에 배치되도록 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 집광 및 광경로 분리부재 웨이퍼를 마련하는 단계는, 적어도 하나 이상의 상기 집광부재를 형성한 상기 집광부재 웨이퍼를 마련하는 단계;적어도 하나 이상의 상기 광경로 분리부재를 형성한 상기 광경로 분리부재 웨이퍼를 마련하는 단계; 및상기 집광부재 웨이퍼와 상기 광경로 분리부재 웨이퍼를 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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9
제8항의 광학벤치를 형성함에 있어서,상기 광경로가 형성되도록 제1측부, 바닥부 및 상기 제1측부와 반대쪽에 위치한 제2측부를 형성하는 단계; 및상기 바닥부에 전극을 형성하고 상기 광원을 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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10
제9항에 있어서, 상기 광학 벤치의 바닥부 또는 상기 제2측부에 상기 메인 광검출기를 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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11
제8항에 있어서, 상기 집광 부재는, 적어도 일 매의 굴절렌즈, 회절렌즈 혹은 그린렌즈이거나 상기 렌즈들 중 적어도 2종 이상을 결합한 하이브리드 렌즈인 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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12
제8항에 있어서,상기 광경로 분리부재는 HOE 또는 DOE를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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13
제8항에 있어서, 상기 광경로 분리부재는, 편광회절소자와 1/4 파장판을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 집광 부재와 상기 광경로 분리부재의 사이에 개구가 형성된 스페이서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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15
제9항에 있어서,상기 광학 벤치에는 상기 집광 부재 및 광경로 분리부재가 안착되는 단차부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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16
제1 또는 제2항의 상기 집광 및 광경로 분리부재 웨이퍼를 마련함에 있어서, 상기 집광 부재 및 광경로 분리부재를 연장하거나 상기 집광부재 및 광경로 분리부재가 삽입된 스페이서를 형성하여 적어도 하나 이상의 지지부재를 상기 집광 및 광경로 분리부재 웨이퍼상에 마련하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접 광픽업 제조 방법
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17
제16항의 상기 광학벤치를 형성함에 있어서, 상기 광경로가 형성되도록 제1측부, 바닥부 및 상기 제1측부와 반대쪽에 위치한 제2측부를 형성하는 단계;상기 광원쪽에서 입사되는 광을 상기 집광 및 광경로 분리부재쪽으로 반사시키는 제1면을 상기 제1측부에 형성하는 단계; 및상기 광정보저장매체에서 반사되고 상기 제1면에 의해 반사된 광을 상기 메인 광검출기쪽으로 진행하도록 반사시키는 제2면을 상기 제2측부에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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18
제17항에 있어서, 상기 메인 광검출기를 상기 광학벤치의 상기 제2 면을 바라보는 상기 지지부재의 면에 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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19
제18항에 있어서, 상기 광원을 상기 바닥부 혹은 상기 메인 광검출기가 설치된 상기 지지부재의 일면에 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업 제조 방법
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20
광원;광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;상기 광원에서 조사된 광을 상기 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 집광 및 광경로 분리 부재;상기 집광 및 광경로 분리 부재와 결합되며, 상기 광원, 상기 메인 광검출기, 상기 집광 및 광경로 분리 부재 사이의 광경로가 형성되는 광학 벤치;를 포함하며,상기 광학 벤치는,상기 광원쪽에서 입사되는 광을 상기 집광 및 광경로 분리부재쪽으로 반사시키는 제1면을 가지는 제1측부;상기 광원이 마련된 바닥부; 및상기 제1측부와 반대쪽에 위치된 제2측부;를 구비하며,상기 메인 광검출기는 상기 광학 벤치의 바닥부 및 상기 제2측부 중 어느 한 곳에 마련된 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제20항에 있어서, 상기 광원의 출력 광강도를 모니터링하는 모니터 광검출기;를 더 구비하며, 상기 모니터 광검출기는 상기 메인 광검출기와 동일 면에 배치되거나 상기 광학 벤치의 바닥부 및 제2측부 중 어느 한 곳에는 메인 광검출기, 다른 곳에는 모니터 광검출기가 마련되는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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22
제20항에 있어서, 상기 광원의 출력 광강도를 모니터링하는 모니터 광검출기;를 더 구비하며, 상기 메인 광검출기와 상기 모니터 광검출기는 상기 광원 양쪽에 위치되도록 상기 바닥부에 마련되는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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23
제22항에 있어서, 상기 광원에서 출사된 광이 상기 모니터 광검출기로 입사되도록, 상기 광원과 모니터 광검출기 사이에 프리즘;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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24
광원;광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;상기 광원에서 조사된 광을 상기 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 집광 및 광경로 분리 부재를 포함하는 지지부재; 및상기 지지부재와 결합되며, 상기 광원, 상기 메인 광검출기, 상기 집광 및 광경로 분리 부재 사이의 광경로가 형성되는 광학 벤치;를 포함하며,상기 광학 벤치는,상기 광원쪽에서 입사되는 광을 상기 집광 및 광경로 분리부재쪽으로 반사시키는 제1면을 가지는 제1측부;상기 광원이 마련된 바닥부; 및상기 제1측부와 반대쪽에 위치되어, 상기 광정보저장매체에서 반사되고 상기 제1면에 의해 반사된 광을 상기 메인 광검출기쪽으로 진행하도록 반사시키는 제2면을 가지는 제2측부;를 구비하며,상기 메인 광검출기는 상기 지지부재의 상기 광학벤치의 상기 제2면을 바라보는 면에 마련되는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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25
제24항에 있어서, 상기 광원의 출력 광강도를 모니터링하도록 상기 지지부재에 마련된 모니터 광검출기;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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26
제24항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 집광 및 광경로 분리부재의 연장 부분 및 상기 집광 및 광경로 분리부재가 삽입된 스페이서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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광원;광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;상기 광원에서 조사된 광을 상기 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 집광 및 광경로 분리 부재를 포함하는 지지부재; 및상기 지지부재와 결합되며, 상기 광원, 상기 메인 광검출기, 상기 집광 및 광경로 분리 부재 사이의 광경로가 형성되는 광학 벤치;를 포함하고,상기 광학 벤치는,상기 광원쪽에서 입사되는 광을 상기 집광 및 광경로 분리부재쪽으로 반사시키는 제1면을 가지는 제1측부;바닥부; 및상기 제1측부와 반대쪽에 위치되어, 상기 광원에서 출사된 광을 상기 제1면쪽으로 반사시키도록 마련된 제2면을 가지는 제2측부;를 구비하며,상기 광원 및 메인 광검출기는 상기 지지부재에 마련된 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제27항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 집광 및 광경로 분리부재의 연장 부분 및 상기 집광 및 광경로 분리부재가 삽입된 스페이서 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제27항에 있어서, 상기 광학 벤치는, 바닥부가 오픈된 구조인 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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광원;광정보저장매체에서 반사된 광을 수광하는 메인 광검출기;상기 광원에서 조사된 광을 상기 광정보저장매체로 집속시키며, 상기 광정보저장매체로의 입사광과 상기 광정보저장매체로부터의 반사광의 광경로를 분리시키는 집광 및 광경로 분리 부재;일측에 단차부가 마련되어, 상기 단차부의 측면에 상기 광원이 설치되며, 상기 광원과 이격되게 바닥부에 상기 메인 광검출기가 설치되는 광학 벤치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제30항에 있어서, 상기 광원의 하방의 상기 광학 벤치의 바닥부에 상기 메인 광검출기와 나란하게 배치되어, 상기 광원의 출력 광강도를 모니터링하는 모니터 광검출기;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제20항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 집광 및 광경로 분리부재는, 집광부재와 광경로 분리 부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제32항에 있어서, 상기 집광 부재는, 적어도 일 매의 굴절렌즈, 회절렌즈 및 그린렌즈 및 상기 렌즈들 중 적어도 2종 이상을 결합한 하이브리드 렌즈 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제32항에 있어서,상기 광경로 분리부재는 HOE 또는 DOE를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제32항에 있어서, 상기 광경로 분리부재는, 편광회절소자와 1/4 파장판을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제32항에 있어서, 상기 집광 부재와 상기 광경로 분리부재의 사이에 개구가 형성된 스페이서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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제20항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 벤치는 상기 집광 및 광경로 분리부재가 안착되는 단차부가 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광픽업
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청구항 20항 내지 31항 중 어느 한 항의 집적 광픽업, 상기 광정보저장매체를 회전시키는 광정보저장매체 회전부,상기 집적 광픽업과 상기 광정보저장매체 회전부를 구동하는 구동부; 및상기 구동부를 제어하여 포커싱 및 트래킹 서보를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제38항에 있어서, 상기 집광 및 광경로 분리부재는, 집광부재와 광경로 분리 부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제39항에 있어서, 상기 집광 부재는, 적어도 일 매의 굴절렌즈, 회절렌즈 및 그린렌즈 및 상기 렌즈들 중 적어도 2종 이상을 결합한 하이브리드 렌즈 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제39항에 있어서,상기 광경로 분리부재는 HOE 또는 DOE를 포함하는 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제39항에 있어서, 상기 광경로 분리부재는, 편광회절소자와 1/4 파장판을 포함하는 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제39항에 있어서, 상기 집광 부재와 상기 광경로 분리부재의 사이에 개구가 형성된 스페이서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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제38항에 있어서,상기 광학 벤치는 상기 집광 및 광경로 분리부재가 안착되는 단차부가 형성된 것을 특징으로 하는 광정보저장장치
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