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보헤마이트를 출발물질로 하여 제조한 보헤마이트 졸을 다공성 겔로 제조한 후, Y 질산염 및 Sr 질산염을 각각 증류수에 용해시키고 증류수 내 Y 질산염과 Sr 질산염의 혼합비가 9:1 내지 1:9 중량비가 되도록 혼합한 5 내지 40중량% 농도의 함침용액에 상기 다공성 겔을 함침시킨 후 소결하여 알루미나 기지에 1
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제1항에 있어서,상기 제조방법은,(S1)증류수에 보헤마이트 분말을 혼합하여 보헤마이트 졸을 제조하는 단계;(S2)상기 보헤마이트 졸을 건조하고 분쇄하여 전구체 겔을 제조하는 단계;(S3)상기 전구체 겔을 1차 하소하여 다공성 겔을 제조하는 단계;(S4)상기 다공성 겔을 Y 질산염 및 Sr 질산염을 각각 증류수에 용해시키고 증류수 내 Y 질산염과 Sr 질산염의 혼합비가 9:1 내지 1:9 중량비가 되도록 혼합한 5 내지 30중량% 농도의 혼합용액에 함침시키는 단계;(S5)상기 함침 후 2차 하소하는 단계; 및(S6)상기 2차 하소 후 1,390 내지 1,440℃의 온도에서 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S1)의 보헤마이트 분말은 증류수에 10 내지 30중량%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S1)의 보헤마이트 졸은 증류수에 보헤마이트 분말을 혼합한 보헤마이트 수용액에 질산을 첨가하여 pH가 1
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제2항에 있어서,상기 (S2)의 건조는 70~80℃에서 12~24시간 동안 건조한 후 100~150℃에서 12~24시간 동안 연속으로 건조하는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S2)의 전구체 겔은 1㎜ 정도의 크기인 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S3)의 1차 하소 및 (S5)의 2차 하소는 500 내지 700℃에서 20~60분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S4)의 Y 질산염은 Y(NO3)3· 6H2O 및 Y(NO3)3·4H2O 중 선택된 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S4)의 Sr 질산염은 Sr(NO3)2 인 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S4)의 Y 질산염과 Sr 질산염의 혼합비가 1:1 내지 1:9 중량비가 되도록 혼합된 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S5)의 소결은 1,390 내지 1,440℃의 온도, 공기분위기에서 10 내지 60분간 수행되는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 (S5)의 소결은 최종 소결온도로 유지된 로에서 30분간 유지시켜 열처리하는 급속소결(fast-sintering)법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 알루미나 연마재는 1,390~1430℃의 온도에서 급속소결(fast-sintering) 시 1,450 내지 1,850㎏/㎟의 경도값을 가지는 것을 특징으로 하는 미세 지립의 알루미나 연마재의 제조방법
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제1항 내지 제13항 중 어느 하나의 항의 방법으로 제조되어 알루미나 기지에 1
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