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탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 공간으로서의 반응실의 주요 몸체부를 이루는 석영관; 상기 석영관의 내부에 설치되며, 복수의 탄화규소 단결정 기판이 그 몸체의 내벽면에 직접 부착되는, 핫월(hot-wall) 형태의 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 고온의 열을 발생하는 발열체; 상기 발열체를 하부에서 지지 및 고정하는 한편 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하는 지지대; 상기 석영관의 몸체 외주의 일정 영역에 권취되며, 고주파 유도 가열에 의해 상기 발열체를 가열하는 고주파 유도 가열용 코일; 상기 석영관의 상부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 상기 탄화규소 에피탁시 박막 성장 후의 수소와 원료가스의 유출을 위한 유출구가 마련되어 있는 반응실 상부 플랜지; 상기 석영관의 하부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 수소 및 원료가스의 주입을 위한 주입구가 마련되어 있는 반응실 하부 플랜지; 를 구비하는 고온 화학적 기상 증착 장치에 있어서: 상기 반응실 하부 플랜지에는 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 원료가스와 상기 발열체 내부측의 소정의 압력 유지를 위한 수소의 주입을 위한 수소 및 원료가스 주입구와;상기 수소에 의한 발열체 내부측의 압력에 상응하는 발열체 외부측의 소정의 압력 유지와 발열체 외부의 열화 방지 및 발열체로부터 석영관으로의 열전달을 억제하는 불활성 가스의 주입을 위한 불활성 가스 주입구가 각각 별도로 마련되고, 상기 지지대는 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하되, 상기 수소 및 원료가스 주입구를 통해 주입된 수소와 원료가스가 오직 발열체의 내부측으로만 유동될 수 있도록 하며, 외부에서 유동되는 불활성 가스는 기판에서 반응이 일어나기 전에는 혼합이 되지 않도록 그 측면벽이 밀폐된 원형관 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 이중 가스 주입장치를 갖는 고온 화학적 기상 증착 장치
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탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 공간으로서의 반응실의 주요 몸체부를 이루는 석영관; 상기 석영관의 내부에 설치되는 것으로, 복수의 탄화규소 단결정 기판이 별도의 기판지지대에 의해 고정되고, 그 별도의 기판지지대가 몸체 내부의 공간 상에 위치되도록 고정되는, 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 고온의 열을 발생하는 핫월(hot-wall) 형태의 발열체; 상기 발열체를 하부에서 지지 및 고정하는 한편 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하는 지지대; 상기 석영관의 몸체 외주의 일정 영역에 권취되며, 고주파 유도 가열에 의해 상기 발열체를 가열하는 고주파 유도 가열용 코일; 상기 석영관의 상부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 상기 탄화규소 에피탁시 박막 성장 후의 수소와 원료가스의 유출을 위한 유출구가 마련되어 있는 반응실 상부 플랜지; 상기 석영관의 하부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 수소 및 원료가스의 주입을 위한 주입구가 마련되어 있는 반응실 하부 플랜지; 를 구비하는 고온 화학적 기상 증착 장치에 있어서: 상기 반응실 하부 플랜지에는 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 원료가스와 상기 발열체 내부측의 소정의 압력 유지를 위한 수소의 주입을 위한 수소 및 원료가스 주입구와;상기 수소에 의한 발열체 내부측의 압력에 상응하는 발열체 외부측의 소정의 압력 유지와 발열체 외부의 열화 방지 및 발열체로부터 석영관으로의 열전달을 억제하는 불활성 가스의 주입을 위한 불활성 가스 주입구가 각각 별도로 마련되고, 상기 지지대는 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하되, 상기 수소 및 원료가스 주입구를 통해 주입된 수소와 원료가스가 오직 발열체의 내부측으로만 유동될 수 있도록 하며, 외부에서 유동되는 불활성 가스는 기판에서 반응이 일어나기 전에는 혼합이 되지 않도록 그 측면벽이 밀폐된 원형관 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 이중 가스 주입장치를 갖는 고온 화학적 기상 증착 장치
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탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 공간으로서의 반응실의 주요 몸체부를 이루는 석영관; 상기 석영관의 내부에 설치되는 것으로, 복수의 탄화규소 단결정 기판이 별도의 기판지지대에 의해 고정되고, 그 별도의 기판지지대가 몸체 내부의 공간 상에 위치되도록 고정되는, 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 고온의 열을 발생하는 핫월(hot-wall) 형태의 발열체; 상기 발열체를 하부에서 지지 및 고정하는 한편 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하는 지지대; 상기 석영관의 몸체 외주의 일정 영역에 권취되며, 고주파 유도 가열에 의해 상기 발열체를 가열하는 고주파 유도 가열용 코일; 상기 석영관의 상부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 상기 탄화규소 에피탁시 박막 성장 후의 수소와 원료가스의 유출을 위한 유출구가 마련되어 있는 반응실 상부 플랜지; 상기 석영관의 하부에 결합되어 석영관과 함께 하나의 반응실을 이루며, 수소 및 원료가스의 주입을 위한 주입구가 마련되어 있는 반응실 하부 플랜지; 를 구비하는 고온 화학적 기상 증착 장치에 있어서: 상기 반응실 하부 플랜지에는 탄화규소 에피탁시 박막 성장을 위한 원료가스와 상기 발열체 내부측의 소정의 압력 유지를 위한 수소의 주입을 위한 수소 및 원료가스 주입구와;상기 수소에 의한 발열체 내부측의 압력에 상응하는 발열체 외부측의 소정의 압력 유지와 발열체 외부의 열화 방지 및 발열체로부터 석영관으로의 열전달을 억제하는 불활성 가스의 주입을 위한 불활성 가스 주입구가 각각 별도로 마련되고, 상기 지지대는 수소 및 원료가스를 상기 발열체쪽으로 유동하도록 하는 통로를 제공하되, 상기 수소 및 원료가스 주입구를 통해 주입된 수소와 원료가스가 오직 발열체의 내부측으로만 유동될 수 있도록 하며, 외부에서 유동되는 불활성 가스는 기판에서 반응이 일어나기 전에는 혼합이 되지 않도록 그 측면벽이 밀폐된 원형관 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 이중 가스 주입장치를 갖는 고온 화학적 기상 증착 장치
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