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1
다음의 화학식 1 내지 화학식 3으로 표시되는 단량체를 포함하는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지
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2
청구항 1에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지는, 다음의 화학식 4로 표시되고, 몰혼합비로서, 단량체 a, b, c는 각각 10~40인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지
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3
청구항 1에 있어서,상기 화학식 1로 표시되는 단위체는 스티렌, 벤질(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸 (메타)아크릴레이트, 사이클로헥실(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트 중에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지
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4
청구항 1에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지의 산가는 30~200 KOH mg/g이고, 중량 평균 분자량은 1,000~200,000 g/mol의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지
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5
a) 하기 화학식 1로 표시되는 단위체와, 하기 화학식 5로 표시되는 에폭시기를 포함하는 단위체를 중합하여 고분자를 제조하는 단계;b) 상기 a)단계에서 제조된 고분자에 하기 화학식 6 및 화학식 7로 표시되는 화합물을 하나 이상 포함하는 카복실산 화합물을 투입하여 고분자를 제조하는 단계;c) 상기 b)단계에서 합성된 고분자에 고리형 무수물을 투입하여 산기를 형성하는 단계;를 포함하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법
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삭제
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7
삭제
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8
청구항 5에 있어서,상기 c)단계에서 상기 고리형 무수물은,숙신산 무수물, 테트라하이드로 프탈산 무수물, 말릭산 무수물, 프탈산 무수물 중에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법
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9
청구항 5에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지의 제조방법은 라디칼 중합 개시제를 이용하는 라디칼 중합에 의하는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법
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10
청구항 9에 있어서,상기 라디칼 중합에서 사용되는 상기 라디칼 중합 개시제는 2,2''-아조비스이소부티로니트릴, s,s''-아조비스-(2,4-디메틸발레로니트릴), 벤조일퍼옥사이드 중에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법
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11
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항의 알칼리 가용성 수지;와펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜 디(메타)아크릴레이트 중에서 선택된 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물;과광개시제;와용매를 포함하는 감광성 수지 조성물
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12
삭제
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청구항 11에 있어서, 상기 광개시제는,2,4-트리클로로메틸-(4’-메톡시페닐)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(4’-메톡시스티릴)-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(피플로닐)-6-트리아진 이루어진 군에서 선택된 트리아진 화합물;1-히드록시시클로헥실 페닐 케톤, 4-(2-히드록시에톡시)-페닐 (2-히드록시)프로필 케톤으로 이루어진 군에서 선택된 아세토페논계 화합물; 및벤조페논, 2,4,6-트리메틸아미노벤조페논 으로 이루어진 군에서 선택된 벤조페논계 화합물;중에서 선택되는 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물
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14
청구항 11에 있어서, 상기 용매는메틸 에틸 케톤, 프로필렌 글리콜 디에틸 에테르, 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트, 3-메톡시부틸 아세테이트, 디프로플렌 글리콜 모노메틸 에테르 중에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물
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15
청구항 11에 있어서,전체 감광성 수지 조성물 중 상기 알칼리 가용성 수지는 1~20중량%,상기 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물은 0
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청구항 11에 있어서,착색제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물
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청구항 16에 있어서,상기 착색제는 전체 감광성 수지 조성물 중 0
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