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약액 공급탱크;약액 배출탱크;일단이 상기 약액 공급탱크에 연결설치된 메인 공급관;상기 메인 공급관으로 부터 분기된 다수개의 제 1서브 공급관; 상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치되어, 상기 약액을 공급받아 기판으로 토출하는 헤드; 상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관;상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관;상기 순환관 내에 설치되어, 약액을 순환시키기 위한 약액 순환부;상기 헤드를 구성하는 헤드 몸체의 일단에 설치된 제 2서브 공급관과, 상기 헤드 몸체의 타단에 설치된 제 2서브 배출관; 및상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 보조 약액 공급탱크와 상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 개폐용 밸브로 이루어지며, 상기 헤드 내의 약액의 기포를 제거하기 위한 기포제거부를 포함하여 구성되며, 상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액이 상기 제2 서브 배출관을 통해 상기 헤드 몸체 내로 공급되어 상기 공급된 약액에 의해 상기 헤드 내의 약액의 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템
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제 1항에 있어서, 상기 약액 순환부는 펌프인 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템
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제 1항에 있어서, 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행 시에, 상기 제 2서브 공급관에는 질소가 공급되며, 상기 공급된 질소 압력에 의해 상기 헤드 내 약액의 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템
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약액 공급탱크와 약액 배출탱크를 제공하는 단계;일단이 상기 약액 공급탱크에 메인 공급관을 설치하는 단계;상기 메인 공급관으로 부터 다수개의 제 1서브 공급관을 분기하는 단계; 상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치된 헤드를 통해 상기 약액 공급탱크로부터 약액을 공급받아 기판으로 토출시키는 단계; 상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과, 상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관내의 약액순환부를 통해 약액을 순환시키기 단계; 및상기 헤드에 설치된 기포제거부의 보조 약액 공급탱크를 통해 상기 헤드 내의 약액의 기포를 제거하는 단계를 포함하여 구성되며;상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액을 상기 헤드 내로 공급하여 상기 공급된 약액에 의해 상기 헤드 내의 약액의 기포를 제거하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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제 7항에 있어서, 상기 약액 순환부는 펌프인 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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제 7항에 있어서, 상기 헤드는 헤드 몸체와, 상기 헤드 몸체의 일단에 설치된 제 2서브 공급관과, 상기 헤드 몸체의 타단에 설치된 제 2서브 배출관을 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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제 9항에 있어서, 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행 시에, 상기 제 2서브 공급관에는 질소가 공급되며, 상기 공급된 질소 압력에 의해 상기 헤드 내 약액의 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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제 9항에 있어서, 상기 기포제거부는 상기 제 2서브 배출관에 연결설치되는 상기 보조 약액 공급탱크와, 상기 제 2서브 배출관에 연결설치되는 개폐용 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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제 11항에 있어서, 상기 개폐용 밸브는 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행될 시에 오픈되어 상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액을 상기 헤드 몸체 내로 공급시키며, 상기 공급된 약액에 의해 상기 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법
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