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포지티브형 감광성 수지 조성물

  • 기술번호 : KST2015056281
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요약 본 발명은 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 더 상세하게는, a) 하기 화학식 1로 표현되는 폴리이미드, b) 하기 화학식 2로 표현되는 폴리아믹산, c) PAC(Photo Active Compound) 및 d) 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 감광성 수지 조성물은 반도체 버퍼 코팅(buffer coating)의 요구 특성인 고해상도, 고감도, 우수한 필름 특성 및 기계적 물성을 나타내는 효과가 있다.[화학식 1][화학식 2]감광성, 포토레지스트, 폴리이미드, 폴리아믹산, i-선, 고해상도, 고감도
Int. CL G03F 7/039 (2006.01)
CPC G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01) G03F 7/039(2013.01)
출원번호/일자 1020090011578 (2009.02.12)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1202010-0000 (2012.11.09)
공개번호/일자 10-2010-0092282 (2010.08.20) 문서열기
공고번호/일자 (20121115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.22)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성혜란 대한민국 대전광역시 유성구
2 신세진 대한민국 대전광역시 유성구
3 박찬효 대한민국 대전광역시 유성구
4 오동현 대한민국 대전광역시 유성구
5 김상우 대한민국 대전광역시 유성구
6 김경준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0088333-42
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0474403-63
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2011-0083052-68
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0152131-02
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0378585-03
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0378587-94
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0785892-40
9 등록결정서
Decision to grant
2012.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0650555-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 하기 화학식 1로 표현되는 폴리이미드:[화학식 1](여기서, Y1 은 , , ,및 중에서 선택되어지는 하나 이상인 것이고, Y2 는 2가의 유기기를 말한다),b) 하기 화학식 2로 표현되는 폴리아믹산 :[화학식 2](여기서, X 는 , , , , , 및 중에서 선택되어지는 하나 이상인 것이고,Y2 는 2가의 유기기를 말한다),c) 광활성 화합물(Photo Active Compound, 이하 ''PAC''라 함
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 폴리이미드는 i-선 투과율이 70% 이상인 것임을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 폴리아믹산은 필름 형태로 제조시에 파단신율 80% 이상인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
4 4
제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 상기 폴리이미드는 전체 조성물 100 중량부에 1 내지 99 중량부 포함된 것임을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
5 5
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 폴리아믹산은 전체 조성물 100 중량부에 1 내지 50 중량부 포함된 것임을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 PAC은 하기 화학식 3의 화합물로 구성된 그룹에서 선택되어지는 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
7 7
제 1 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 PAC은 전체 조성물 100 중량부에 1 내지 50 중량부 포함된 것임을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.