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단결정 성장장치에 사용되는 석영 도가니에 있어서,
실리카로 이루어진 투명한 내부층; 및
질소가 첨가된 실리카로 이루어지고, 상기 내부층의 바깥에 위치하여 상기 내부층을 둘러싸는 불투명한 외부층;을 포함하는 고강도 석영 도가니
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제1항에 있어서,
상기 내부층은 내표면으로부터 10㎜ 두께까지 버블이 존재하지 않는 합성 실리카 층이고,
상기 외부층은 버블이 존재하는 천연 실리카 층인 것을 특징으로 하는 고강도 석영 도가니
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제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 질소의 함량이 1 ~ 15atomic%인 것을 특징으로 하는 고강도 석영 도가니
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제1항에 있어서,
상기 내부층의 불순물 농도가 100ppb 이내인 것을 특징으로 하는 고강도 석영 도가니
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투명한 내부층과 상기 내부층을 둘러싸는 불투명한 외부층을 포함하는 단결정 성장장치용 석영 도가니의 제조방법에 있어서,
(a) 천연 실리카 샌드를 도가니 주형에 투입한 후 용융시켜 외부층을 형성하는 단계; 및
(b) 합성 실리카 샌드를 투입한 후 용융시켜 상기 외부층의 안쪽에 내부층을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 단계 (a)에서 질소를 첨가하여 상기 외부층을 형성하는 것을 특징으로 하는 석영 도가니의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (a)에서,
1 ~ 50% 농도의 아르곤(Ar) 분위기에서 1 ~ 15atomic%의 질소를 첨가하는 것을 특징으로 하는 석영 도가니의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (a)에서,
질화규소(Si3N4), 질화알루미늄(AlN), 질화칼슘(Ca3N2) 및 질화리튬(Li3N) 중 선택된 어느 하나 또는 둘 이상을 상기 천연 실리카 샌드에 혼합하여 1 ~ 15atomic%의 질소를 첨가하는 것을 특징으로 하는 석영 도가니의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (b)에서,
3 ~ 15㎜ 두께를 갖는 내부층을 형성하는 것을 특징으로 하는 석영 도가니의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 단계 (b)에서,
30 ~ 100ppma의 수산화기(OH-)를 상기 합성 실리카 샌드에 유입시켜 불순물 농도가 100ppb 이내인 내부층을 형성하는 것을 특징으로 하는 석영 도가니의 제조방법
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