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제1 전극;상기 제1 전극과 이격되어 배치되는 제2 전극; 및상기 제1 및 제2 전극들 사이에 배치되며 자일렌(xylene)을 단량체로 갖는 고분자를 포함하는 유전막을 포함하는 케이블
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제1항에 있어서,상기 유전막은 파라-자일렌(p-xylene), 모노클로로-파라-자일렌(monochloro-p-xylene) 및 다이클로로-파라-자일렌(dichloro-p-xylene)으로부터 선택적 적어도 하나를 단량체로 갖는 고분자를 포함하는 케이블
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제1항에 있어서,상기 유전막은 10 내지 50㎛의 두께 및 1016Ωㆍ㎝ 이상의 비저항을 갖는 케이블
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제1 전극을 마련하는 단계;자일렌 이량체를 분해하여 단량체를 상기 제1 전극 표면으로 제공하는 단계;상기 제1 전극 표면에서 상기 자일렌 단량체가 고분자로 형성되어 유전막을 형성하는 단계; 및상기 유전막 표면에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 케이블 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 자일렌 단량체를 제공하는 단계는,상기 자일렌 이량체를 650 내지 700℃로 열분해하여 상기 자일렌 단량체를 형성하는 단계를 포함하며,상기 자일렌 이량체는 파라-자일렌 이량체, 모노클로로-파라-자일렌 이량체 및 다이클로로-파라-자일렌 이량체로부터 선택적 적어도 하나를 포함하는 케이블 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 제1 전극을 -25 내지 25℃로 냉각하는 단계를 더 포함하는 케이블 제조 방법
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반응 유체가 제공되는 반응물 주입구, 상기 반응물 주입구와 연통되며 피 대상물이 배치되는 삽입구 및 가열 수단을 포함하는 가열 블록; 및상기 가열 블록에 인접하게 배치되며 냉각 수단을 포함하는 냉각 블록을 포함하되,상기 삽입구는 상기 냉각 블록으로 연장되며,상기 반응물 주입구와 삽입구가 만나는 부위에 증착 공간이 한정되는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 반응물 주입구는 상기 증착 공간으로 테이퍼진 형상을 갖는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 반응 유체는 캐리어 가스와 함께 제공되는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 가열 수단은 다수의 열선들을 포함하며,상기 증착 공간에 인접하게 배치된 열선들은 제1 온도를 가지며,상기 반응물 주입구 단부 및 삽입구 단부에 인접한 열선들은 상기 제1 온도보다 실질적으로 낮은 제2 온도를 갖는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 냉각 수단은 냉각수 또는 펠티어 소자를 포함하는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 냉각 블록이 상기 가열 블록 내부에 배치되며,상기 냉각 및 가열 블록들 사이에 배치되는 단열재를 더 포함하는 유전막 증착 장치
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제7항에 있어서,상기 유전막 증착 장치가 다수 개이며,상기 피 대상물에 상기 다수의 유전막 증착 장치가 이격되어 배치된 유전막 증착 장치
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제13항에 있어서,상기 다수의 유전막 증착 장치들의 반응 주입구들 각각은 서로 연통된 유전막 증착 장치
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