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디스플레이 제품이 고정되며, 이송라인을 따라 이동하도록 진공영역(30) 내에 배치된 트레이(10);상기 트레이(10)를 상기 이송라인에 수직한 위 방향으로 부상시키도록 상기 트레이(10)의 상측에 배치된 자기부상 모듈(12); 및상기 트레이(10)를 상기 이송라인을 따라 추진시키도록 상기 트레이(10)의 하측에 배치된 선형 추진 모듈(14);을 포함하며,상기 트레이(10)의 상단에는 부상력 발생을 위한 부상용 전자석 코어(16)가 장착되고, 상기 트레이(10)의 하단에는 추진력 발생을 위한 추진용 영구자석(17)이 장착되며,상기 자기부상 모듈(12)은 상기 부상용 전자석 코어(16)와 상호작용하여 부상력을 발생시키는 다수 개의 부상용 전자석들(11)을 포함하고, 상기 선형 추진 모듈(14)은 상기 추진용 영구자석(17)과 상호작용하여 추진력을 발생시키는 추진용 LSM 권선(13)을 포함하며,상기 자기부상 모듈(12)은 상기 다수 개의 전자석들(11) 중에서 상기 트레이(10)가 지나가는 구간에 위치되는 전자석들(11)에만 전류가 인가되는 실시간 부상 섹션전환 방식으로 작동하는, 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 자기부상 모듈(12)의 부상 섹션전환 작동을 제어하고 선형 추진 모듈(14)의 추진 작동을 제어하기 위하여, 상기 자기부상 모듈(12)측 또는 선형 추진 모듈(14)측에 설치되어 트레이(10)의 위치를 검출하는 비접촉 위치센서(18)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 2에 있어서, 상기 비접촉 위치센서(18)는 리니어 엔코더, 바코드 포지셔닝 센서, 레이저 인터페로미터 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 트레이(10)의 궤도 이탈을 방지하기 위한 수단으로서, 트레이(10)의 하단 추진용 영구자석(17)측과 이와 마주보는 선형 추진 모듈(14)의 추진용 LSM 권선(13)에 각각 설치되는 자계 패스 형성용 블럭(29a,29b)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 트레이(10)의 궤도 이탈을 방지하기 위한 수단으로서, 트레이(10)의 이송경로를 따라 트레이 양편에서 일정한 간격으로 배치되는 다수의 가이드용 전자석(20) 및 이에 대응하는 트레이(10)측의 가이드용 전자석 코어(21)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 1에 있어서, 상기 자기부상 모듈(12)과 선형 추진 모듈(14)은 순환라인으로 구성되는 동시에 각 모듈의 방향전환위치에는 자기부상 방식의 회전 모듈(22)이 배치되어, 공정 처리를 마친 디스플레이 제품을 언로드한 트레이(10)가 시작위치로 복귀되도록 하는 연속적인 순환 방식으로 운영되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 7에 있어서, 상기 자기부상 방식의 회전 모듈(22)은 고정형 플레이트(23)의 저면에 트레이(10)의 부상용 전자석 코어(16)에 대응하면서 호(弧) 형상의 궤적을 따라 배치되는 부상용 전자석(11)과 호(弧) 형상의 궤적을 따라 배치되면서 트레이(10)를 회전시켜주는 가변 릴럭턴스형 전동기(24)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 7에 있어서, 상기 자기부상 방식의 회전 모듈(22)은 저면에 트레이(10)의 부상용 전자석 코어(16)에 대응하면서 일정한 간격으로 나란하게 배치되는 다수의 부상용 전자석(11)을 가지는 회전형 플레이트(25)와 상기 회전형 플레이트(25)를 회전시켜주는 모터(26)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 자기부상 모듈(12)의 부상용 전자석들(11) 및 상기 선형 추진 모듈(14)의 추진용 LSM 권선(13)은 각각 상기 진공영역(30) 밖에 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 제조설비용 자기부상 이송 시스템
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