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1
적어도 2개의 광전 변환층을 갖는 광전 변환부;서로 다른 광전 변환층 사이에 위치하며, 일부 빛은 반사하고 나머지 빛은 투과하는 중간 반사층; 및상기 적어도 2개의 광전 변환층을 모두 통과한 빛을 반사하는 후면 반사층을 포함하며,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 높은 굴절률을 갖는 박막 태양전지
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2
제1항에서,상기 중간 반사층 및 상기 후면 반사층은 AZO(ZnO:Al) 및 BZO(ZnO:B)를 포함하는 아연 산화물(ZnO)로 각각 형성되는 박막 태양전지
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3
제2항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 낮은 산소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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4
제2항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 낮은 비저항을 갖는 박막 태양전지
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5
제1항에서,상기 중간 반사층과 상기 후면 반사층은 수소화된 실리콘 산화물(SiOx:H)을 각각 포함하는 박막 태양전지
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6
제5항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 낮은 산소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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7
제5항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 낮은 비저항을 갖는 박막 태양전지
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8
제5항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 높은 결정화도를 갖는 박막 태양전지
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9
제5항에서,상기 중간 반사층은 상기 후면 반사층에 비해 높은 수소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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10
제1항에서,상기 광전 변환부는 제1 광전 변환층, 제2 광전 변환층 및 제3 광전 변환층을 포함하고,상기 중간 반사층은 상기 제1 광전 변환층과 상기 제2 광전 변환층 사이에 위치하는 제1 중간 반사층 및 상기 제2 광전 변환층과 상기 제3 광전 변환층 사이에 위치하며 상기 제1 중간 반사층에 비해 상기 후면 반사층에 더 인접한 제2 중간 반사층을 포함하며,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 높은 굴절률을 갖는 박막 태양전지
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11
제10항에서,상기 제1 중간 반사층 및 상기 제2 중간 반사층은 AZO(ZnO:Al) 및 BZO(ZnO:B)를 포함하는 아연 산화물(ZnO)로 각각 형성되는 박막 태양전지
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12
제11항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 낮은 산소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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13
제11항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 낮은 비저항을 갖는 박막 태양전지
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14
제10항에서,상기 제1 중간 반사층과 상기 제2 중간 반사층은 수소화된 실리콘 산화물(SiOx:H)을 각각 포함하는 박막 태양전지
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15
제14항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 낮은 산소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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16
제14항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 낮은 비저항을 갖는 박막 태양전지
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17
제14항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 높은 결정화도를 갖는 박막 태양전지
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18
제14항에서,상기 제1 중간 반사층은 상기 제2 중간 반사층에 비해 높은 수소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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19
제10항 내지 제18항 중 어느 한 항에서,상기 제2 중간 반사층의 굴절률은 상기 후면 반사층의 굴절률과 동일하거나, 상기 후면 반사층의 굴절률보다 높게 형성되는 박막 태양전지
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20
적어도 2개의 광전 변환층을 갖는 광전 변환부;서로 다른 광전 변환층 사이에 위치하며, 일부 빛은 반사하고 나머지 빛은 투과하는 중간 반사층; 및상기 광전 변환층과 상기 중간 반사층 사이에 위치하는 버퍼층을 포함하고,상기 버퍼층은 상기 중간 반사층에 비해 높은 전기 전도도를 갖는 박막 태양전지
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21
제20항에서,상기 버퍼층과 상기 중간 반사층은 n형 불순물이 도핑된 수소화된 미세 결정 실리콘 산화물(n mc-SiOX:H)을 각각 포함하는 박막 태양전지
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22
제21항에서,상기 버퍼층은 상기 중간 반사층에 비해 높은 수소 함유량을 갖는 박막 태양전지
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23
제22항에서,상기 버퍼층의 수소 함유량은 상기 중간 반사층의 수소 함유량에 비해 3% 내지 15% 높은 박막 태양전지
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제22항에서,상기 중간 반사층의 수소 함유량은 10% 내지 18%이며, 상기 버퍼층의 수소 함유량은 15% 내지 30%인 박막 태양전지
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25
제21항에서,상기 버퍼층은 상기 중간 반사층에 비해 높은 결정화도를 갖는 박막 태양전지
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제21항에서,상기 버퍼층의 두께는 상기 중간 반사층의 두께의 5% 내지 50%로 형성되는 박막 태양전지
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