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일면과 타면이 형성된 노즐기판과;상기 노즐기판의 일면과 타면을 관통하여 형성되고, 일면을 통해 공급된 용액이 타면을 통해 분사되도록 하는 분사홀과;상기 노즐기판의 타면에 상기 분사홀을 중심으로 일면방향으로 오목하게 형성된 링 형상의 회피홈을 포함하여 이루어지되,상기 분사홀과 회피홈은 상호 이격되어 있고, 상기 분사홀과 회피홈 사이에는 상기 회피홈보다 상기 노즐기판의 일면의 반대방향으로 더 돌출된 노즐팁이 형성된 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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청구항1에 있어서,상기 회피홈의 지름은 상기 노즐팁에 형성되는 용액의 최대 방울 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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청구항1에 있어서,상기 노즐팁의 돌출 높이는 상기 회피홈의 주변에 위치한 상기 노즐기판의 높이와 동일한 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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청구항1에 있어서,상기 노즐팁의 돌출 높이는 상기 회피홈의 주변에 위치한 상기 노즐기판의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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청구항1에 있어서,상기 노즐팁의 타단에는 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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청구항5에 있어서,상기 요철부는 상기 분사홀을 중심으로 하여 방사형으로 반복되어 형성된 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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7
청구항1 내지 청구항6 중 어느 한 항에 있어서,상기 노즐기판, 회피홈 및 노즐팁에는 소수성물질이 코팅된 소수성코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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8
청구항7에 있어서,상기 노즐기판, 회피홈 및 노즐팁에는 DLC(Diamond-Like-Carbon)코팅층이 도포되고, 상기 DLC코팅층에 상기 소수성코팅층이 도포된 것을 특징으로 하는 미세분사용 평면노즐
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