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5족원소증발원장치

  • 기술번호 : KST2015073649
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/30 (2006.01)
CPC C30B 23/066(2013.01)
출원번호/일자 1019900008203 (1990.06.04)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0064938-0000 (1993.09.01)
공개번호/일자 10-1992-0001636 (1992.01.30) 문서열기
공고번호/일자 1019930004712 (19930603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1990.06.04)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재진 대한민국 대전시서구
2 김진섭 대한민국 대전직할시동구
3 마동성 대한민국 대전시대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1990.06.04 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049283-18
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1990.06.04 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049285-09
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1990.06.04 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049284-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1992.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025309-48
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1992.11.30 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049286-44
6 지정기간연장승인서
Acceptance of Extension of Designated Period		 1992.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025310-95
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1992.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049287-90
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1993.01.28 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049288-35
9 의견서
Written Opinion		 1993.03.02 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049289-81
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1993.03.02 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049290-27
11 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1993.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025311-30
12 등록사정서
Decision to grant		 1993.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025313-21
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

분자선 에피텍시장치의 5족원소 증발원 장치에 있어서, 진공조(1)내부에 고정설치되고, 상, 하가 개방된 도가니(11)로 형성된 상부가열부(10)와, 나사회전식 상승장치부(23)가 구비된 하부공급부(20)가 공급통로(30)에 의해 상호 연결되고, 중간의 격리밸브(31)에 의해 구분되도록 구성됨을 특징으로 하는 5족원소 증발원장치

2 2

제1항에 있어서, 상부가열부(10)는 상, 하부가 개방되고, 측벽에 탄탈(Ta)히터(12)와 열차폐를 위한 탄탈이나 몰리브덴호일(13)이 2~3겹 둘러싸여 있고 도나기(11) 내부상단에는 스톱퍼(14)가 돌설됨을 특징으로하는 5족원소 증발원장치

3 3

제1항에 있어서, 하부공급부(20)는 진공펌프(21)가 구비되고 벨로오즈 플렌지(22)에 형성된 암나사부(24)와 구동손잡이(25)가 달린 상승스크류(26) 및 그 끝단에 5족원소소오스(33)를 받혀 밀어올려주는 탄탈이나 몰리브덴으로된 상승쟁반(27)이 연결되어 있고 상승스크류(26)의 외부는 자유자재로 수축, 이완되는 벨로오즈(28)가 구비된 나사회전식 상승장치부(23)에 의하여 공급통로(30)를 상, 하 이동하면서 5족원소소오스를 공급함을 특징으로 하는 5족 원소 증발원장치

4 4

제3항에 있어서, 나사회전식 상승장치부(23)는 벨로오즈플렌지(22)하단에 고정설치되어 회전하는 상승스크류봉(26a)고 이에 맞물려 상, 하 이동하는 상승쟁반(27a)의 양측에 형성된 가이드돌기(29)가 공급통로(30) 내주연의 가이드홈(32)에 끼여 상, 하 이동됨을 특징으로 하는 5족원소 증발원장치

5 5

제3항에 있어서, 하부공급부(20)는 연장플랜지(34)의 한측면에 개구부를 형성하고, 다수의 5족원소(33)를 장전하고 저면손잡이(35)에 의해 회전하는 원통형 케이스(36)를 상기의 개구부에 장착하여 5족원소를 지속적으로 공급하도록 한 5족원소 증발원장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.