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수평방향 무빙 스테이지에 부착되어 웨이퍼를 구동하기 위한 구동장치에 있어, 지지대(12)의 힌지스프링(11)으로 변위확대편을 체결하여 힌지스프링이 회전중심이 되는 구조와 ; 입력전압에 따라 팽창되는 압전(piezoeletric) 특성을 갖는 신장부가 팽창방향에 수직방향으로 회전됨으로써 수평변위를 수직방향으로 전환시켜 변위를 확대하는 변위확대부와 ; 상기 힌지스프링, 신장부, 변위확대부로 구성된 동일한 구동기 3개가 180° 간격으로 수평조립되어 상하방향, 틸트구동이 가능한 장치를 구비함과 ; 상기 상하방향, 틸트구동기에 덧붙여 상기 상하방향, 틸트구동기와 동일한 구성을 갖는 구동기를 구동방향이 90° 회전된 상태로 조립하여 수평회전운동에 대해서는 안내요소가 되도록 함을 특징으로 하는 고체형 엑취에이터를 이용한 웨이퍼의 정밀구동장치
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제1항에 있어서, 지지대(12)는 연결나사(21)에 의해 수평방향 무빙 스테이지에 체결되고 지지대의 3개의 측면하부에는 V-홈(18) 구조를 만들어 신장부인 엑취에이터(10)의 일측을 접하게하고, 측면상부에는 변위확대편(20)을 힌지스프링(11)과 고정나사(11a)를 체결하여 회전중심이 되도록 한 것을 특징으로 하는 고체형 엑취에이터를 이용한 웨이퍼의 정밀구동장치
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제1항에 있어서, 엑취에이터(10,19)는 입력전압에 따라 팽창되는 압전특성을 가지며, 엑취에이터의 양측에 반구의 실린더(17)를 구비함으로써, 상하방향, 틸트운동이 일어날때, 엑취에이터(19)가 반구의 실린더를 중심으로 회전되는 것을 특징으로 한는 고체형 엑취에이터를 이용한 웨이퍼의 정밀구동장치
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제1항에 있어서, 변위확대편(9,20)이 상기 신장부의 상측에 위치하여 엑취에이터(10)의 팽창에 따라 회전함으로써 신장부의 변위를 그 수직방향으로 전환시켜 변위를 확대하는 것을 특징으로 하는 고체형 엑취에이터를 이용한 웨이퍼 구동정밀장치
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제1항에 있어서, 변위확대편(9,20)의 안쪽끝이 힌지스프링(11)에 의해 지지대(12)에 체결되고, 변위확대편(9,20)의 바깥쪽에는 V-홈(28) 구조를 만들어 진공척(6)의 아래에 붙어있는 방향 회전이 가능하게 하는 구조와, 이 로울러를 예압 조절나사(23)로 압착하여 강성을 높이는 것을 특징으로 하는 고체형 엑취에이터를 이용한 웨이퍼의 정밀구동장치
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