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격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬형태를이용한양자선제작방법

  • 기술번호 : KST2015075191
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법에 관한 것으로서, 특히 빗살무늬 자연적인 생성과정을 잘 선택하여 양자선 구조의 기본틀이 되는 V자형의 골이 파지고 산이 평평한 박막을 만드는 것이다.인디움 갈륨비소박막의 줄무늬는 반원의 형태를 가지고, 갈륨비소 기판위에 성장할 때 성장온도를 고온에서 저온으로 점차적으로 내려 성장시키고, 인디움 조성은 그레이딩 방법으로 점차적으로 늘려 성장하고, 이 줄무늬를 가진 박막위에 생성하고, 또한 인디움 갈륨비소박막의 줄무늬는 M자의 형태를 가지고, 갈륨비소 기판위에 성장할 때 성장온도를 고온에서 저온으로 점차적으로 내려 성장시키고, 인디움 조성은 그레이딩 방법으로 점차적으로 늘려 성장하고, 이 줄무늬를 가진 박막위에 양자선을 생성하는 것이다.
Int. CL H01L 27/12 (2006.01)
CPC H01L 29/125(2013.01) H01L 29/125(2013.01) H01L 29/125(2013.01)
출원번호/일자 1019950052646 (1995.12.20)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1997-0054264 (1997.07.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.12.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이번 대한민국 대전광역시 유성구
2 백종협 대한민국 대전광역시 유성구
3 최성우 대한민국 대전광역시 유성구
4 이진홍 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination
1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203682-74
2 특허출원서
Patent Application
1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203680-83
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1995.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203681-28
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.05.09 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203683-19
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.08.25 수리 (Accepted) 1-1-1995-0203684-65
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1998.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0107471-11
7 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
1998.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0474842-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

격자 부정합으로 인해 생성되는 빗살무늬의 형태를 조절하여 양자선 제작의 기본이 되는 형상을 만드는데 있어서, 인디움 갈륨비소박막의 줄무늬는 반원의 형태를 가지고, 갈륨비소 기판위에 성장할 때 성장온도를 섭씨 650도에서 450도의 저온으로 점차적으로 내려 성장시키고, 상기 인디움 조성은 그레이딩 방법으로 0에서 0

2 2

제1항에 있어서, 상기 양자선은 삼각형 모양이고, 밴드갭 에너지가 가장 낮은 것을 특징으로 하는 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 양자선은 격자 부정합 계수에 무관하게 밴드갭을 자유로이 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법

4 4

인디움 갈륨비소박막의 줄무늬는 M자의 형태를 가지고, 갈륨비소 기판위에 성장할 때 성장온도를 섭씨 700도에서 550도의 저온으로 점차적으로 내려 성장시키고, 상기 인디움 조성은 그레이딩 방법으로 0에서 0

5 5

제4항에 있어서, 상기 양자선은 삼각형이고, 밴드갭 에너지가 가장 낮은 것을 특징으로 하는 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법

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제4항에 있어서, 상기 줄무늬는 이웃하는 두개의 산이 대칭이고, 개개의 산 간격은 800nm 미만인 것을 특징으로 하는 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법

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제4항에 있어서, 상기 양자선은 격자 부정합 계수에 무관하게 밴드갭을 자유로이 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 격자부정합이 큰 이종박막 표면에 생기는 줄무늬 형태를 이용한 양자선 제작방법

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