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빛을 전파하는 코아 및 상기 코아 주위를 둘러싸고 있는 굴절율을 구비하여 특정 모드의 파를 선택하여 도파하도록 하는 편광 장치에 있어서, 상기 클래딩으로 비선형 광학 고분자 재료를 사용하고, 상기 코아로 순수 고분자 재료를 사용한 것을 재료로 한 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치
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제1항에 있어서, 상기 클래딩으로 사용된 비선형 광학 고분자 재료는 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA)를 주사슬로 비선형 분자 DANS(4-dimethylamino-4'-nitro-stibene)가 옆사슬 DANS와 메틸메타아크릴레이트(MMS)가 소정 비율로 중합된 것임을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 코아로 사용된 고분자 재료는 폴리이미드(Polymide)임을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치
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극화시 전기적 횡파(TE) 모드 굴절율은 감소하고 자기적 횡파(TE) 모드 굴절율은 증가하는 비선형 광학 고분자를 클래딩으로 사용한 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치
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제4항에 있어서, 상기 클래딩으로 감싸지는 코아는 극화시 전기적 횡파(TE) 모드 및 자기적 횡파(TM) 모드의 굴절율은 변화가 없는 순수고분자 재료임을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치
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반도체 기판 상에 하부전극용 제1금속층을 형성하는 단계; 상기 금속막 상에 하부클래딩용 제1비선형 광학 고분자층을 형성하는 단계; 상기 비선형 공학 고분자층을 소정 깊이로 선택 식각하는 단계; 상기 제1비선형 광학 고분자층 상에 코어용 순수 고분자층을 형성하는 단계; 상기 순수 고분자층 상에 상부 클래닝용 제2비선형 광학 고분자층을 형성하는 단계; 및 상기 제2비선형 광학 고분자층 상에 제2금속층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 제1금속층 및 제2금속층은 금(Gold, Au) 박막인 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1 및 제2비선형 광학 고분자는 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA)를 주사슬로 비선형 분자 DANS(4-dimethylamino-4'-nitro-stibene)가 옆사슬 DANS와 메틸메타아크릴레이트(MMS)가 소정 비율로 중합된 층임을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제8항에 있어서, 제1 및 제2비선형 광학 고분자층은 사이클로헥사논(Cyclohexanone)용매에 소정 비율로 용해된 비선형 광학 고분자를 코팅하고, 열경화하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 제1, 및 제2비선형 광학 고분자의 용해도는 20 wt%임을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 제1 및 제2비선형 광학 고분자의 코팅은 1k/30sec 내지 1
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제11항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비선형 광학 고분자층의 열경화하는 160℃의 질소 분위기의 오븐에서 2시간동안 이루어짐을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 코아용 순수 고분자는 폴리이미드임을 특징으로 하는 전기적 횡화(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제13항에 있어서, 상기 순수 고분자층은 폴리이미드를 코팅하고, 열경화하여 형성함을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제14항에 있어서, 상기 폴리이미드의 코팅은 2k/30sec로 스핀 코팅으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 폴리이미드층의 열경화는 160℃의 질소 분위기의 오븐에서 12시간동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 횡파(TE) 모드 편광 장치 제조 방법
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