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레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

  • 기술번호 : KST2015075631
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제본 발명은 빛을 도파시킬 수 있는 광섬유를 사용하되, 이 광섬유 출구 한 끝을 원뿔형으로 가공하여 도파된 빛을 렌즈의 사용없이 레이저 어블레이션을 발생시키기 위해 필요한 에너지 밀도를 얻고, 이 집적된 에너지를 이용하여 미세 스트립 선로의 폭 및 면적을 직접 식각하므로써 박막집적소자의 표면 정전용량 및 인덕턴스의 미세조정 등을 가능하게 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각 장치를 제공함에 그 목적이 있다.3. 발명의 해결방법의 요지본 발명은, 자외선 빔을 발생하는 수단; 상기 레이저 발생수단에서 방사되는 레이저 빔의 전달경로를 제공하는 광섬유 도파관; 상기 레이저 발생수단과 광섬유 도파관 사이에 장착되어 광섬유내로 레이저 빔이 입사되도록 집중시키는 수단; 및 상기 광섬유도파관의 출구에서 출력된 빔에 의해 식각재료가 소정각도에서 식각되도록 위치조절하는 샘플 플랫포옴을 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치를 제공한다.4. 발명의 중요한 용도박막위에 형성된 마이크로 스트립선로의 폭 및 면적의 미세조정을 레이저 어블레이션을 이용하여 직접적인 건식식각을 통하여 이루므로써 집적소자의 표면정전 용량 및 인덕턴스의 미세조정을 가능하게 하는 것임,
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960067599 (1996.12.18)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0228398-0000 (1999.08.10)
공개번호/일자 10-1998-0048944 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (19991101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.18)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김제하 대한민국 대전광역시 유성구
2 한석길 대한민국 대전광역시 서구
3 강광용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1996.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1996-0224493-12
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1996-0224495-14
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1996-0224494-68
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1996-0224496-59
5 등록사정서
Decision to grant		 1999.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0170973-87
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

자외선 빔을 발생하는 수단;

상기 레이저 발생수단에서 방사되는 레이저 빔의 전달경로를 제공하는 광섬유 도파관;

상기 레이저 발생수단과 광섬유 도파관 사이에 장착되어 광섬유내로 레이저 빔이 입사되도록 집중시키는 수단; 및

상기 광섬유도파관의 출구에서 출력된 빔에 의해 식각재료가 소정각도에서 식각되도록 위치조절하는 샘플 플랫포옴

을 포함하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 레이저 빔 집중수단은

레이저 빔을 한곳으로 모으는 집광렌즈와,

상기 집광렌즈를 X,Y,Z축으로 미세조정하는 렌즈 조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

3 3

제 1 항에 있어서,

레이저 빔의 입구인 상기 광섬유 도파관의 일단은 레이저 빔을 최대로 입사시키기 위하여 길이방향에 대하여 수직으로 절단되며, 레이저빔의 출구인 타단은 레이저빔의 손실이 최소가 되도록 테이퍼진 탐침팁으로 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

4 4

제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 탐침팁은 전달되는 빛을 효율적으로 유도하여 에너지를 집중할 수 있도록 원뿔형으로 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 탐침팁의 원뿔각(α)은 빛의 투과효율을 향상시키기 위하여

36°∼ 40°로 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

6 6

제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 탐침팁의 외주면은 외 공기중의 오염물질로부터 보호하고 빛을 효울적으로 유도하기 위하여 금속으로 도포된 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

7 7

제 6 항에 있어서

8 8

제 6 항에 있어서,

상기 탐침팁은 50nm∼200nm의 직경을 가지는 레이저 빛의 출구만을 남기고 외주면에 선택적으로 도포하여 클래딩을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

9 9

제 6 항에 있어서

10 10

제 1 항에 있어서,

상기 광섬유 도파관의 코아가 손상되지 않도록 집속되는 에너지 밀도가 1

11 11

제 1 항에 있어서,

상기 샘플 플랫포옴에 연결되어 그의 위치를 조정하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션을 이용한 미세 건식식각장치

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1 US6034348 US 미국 DOCDBFAMILY
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