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광도파로 소자의 무반사면 형성방법

  • 기술번호 : KST2015075941
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광도파로 소자의 무반사면 형성방법에 관한 것으로, 광도파로의 빛이 방사되는 절개면 근처를 반응성 이온 식각(RIE)법등의 건식 식각방법을 이용하여 110방향에 대해 일정한 각을 갖도록 식각하므로써 광도파로의 절개면에서의 광 반사를 최대한 줄일 수 있는 광도파로 소자의 무반사면 형성방법이 개시된다.
Int. CL G02B 6/13 (2006.01)
CPC G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01)
출원번호/일자 1019960064142 (1996.12.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1998-0045897 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 대전광역시 유성구
2 김홍만 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1996.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0213818-11
2 출원심사청구서
Request for Examination
1996.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0213820-03
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0213819-56
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.03.12 수리 (Accepted) 1-1-1996-0213821-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0073117-23
6 의견서
Written Opinion
1999.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-5165789-56
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.04.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5165790-03
8 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
1999.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0214261-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광도파로 소자의 무반사면 형성방법에 있어서,

상기 무반사면을 웨이퍼 클리빙면과 별도로 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 무반사면 형성방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 무반사면은 건식 식각 방법을 사용하여 상기 무반사면이 광도파로의 방향과 일정한 각을 갖도록 식각하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 무반사면 형성방법

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 무반사면은 웨이퍼 클리빙면 사이의 옆면을 일정한 기울기를 갖도록 식각하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 무반사면 형성방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.