맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

  • 기술번호 : KST2015076123
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 웨이퍼의 습식 식각용 홀더에 관한 것이다.습식 식각용 홀더는 반도체 웨이퍼의 습식 식각공정에서 식각용액에 반도체 웨이퍼를 위치시키는데 사용되는 것으로, 종래의 습식 식각용 홀더는 상하위치에 따라 농도차가 있는 식각용액내에 반도체 웨이퍼를 수직으로 세워 위치하게 함으로써 반도체 웨이퍼의 상하위치별로 식각 속도의 차이가 생겨 웨이퍼 전체의 전기적 특성 균일도를 떨어뜨리는 문제점이 있었다. 이에 본 발명은 반도체 웨이퍼를 식각용액내에 수평방향으로 위치하게 하는 수평장착수단을 구비한 반도체 식각용 홀더를 안출하여 식각액의 상하위치에 따른 농도차이의 영향을 줄여 웨이퍼 공정 재현성과 특성 균일도 및 생산 수율 향상 효과를 얻을 수 있으며, 반도체 소자 제작 공정에 있어서 공정개선 및 원가 절감에 기여할 수 있게 하였다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6732(2013.01) H01L 21/6732(2013.01) H01L 21/6732(2013.01)
출원번호/일자 1019970016711 (1997.04.30)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0238417-0000 (1999.10.13)
공개번호/일자 10-1998-0079053 (1998.11.25) 문서열기
공고번호/일자 (20000115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.04.30)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 문재경 대한민국 대전광역시 서구
2 김해천 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0054080-16
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0054079-70
3 특허출원서
Patent Application		 1997.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1997-0054078-24
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.28 수리 (Accepted) 1-1-1997-0054081-62
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
6 등록사정서
Decision to grant		 1999.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0266693-71
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반도체 웨이퍼를 장착하여 식각용액을 담은 용기에 반도체 웨이퍼를 잠입시키고 상하좌우로 흔들면서 식각공정을 수행하게 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더에 있어서,

반도체 웨이퍼가 수평방향으로 장착되어 식각용액내에서 식각되게 하는 수평장착수단을 구비한 것을 특징으로 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

2 2

제 1항에 있어서,

상기 수평장착수단은,

상부 및 하부가 개구되고, 상부내측면에 반도체 웨이퍼를 지지하기 위한 반도체 웨이퍼 지지턱이 형성된 내통과;

상기 내통의 상부에 소정거리만큼 이격하여 적정개수가 설치되어, 상기 내통의 반도체 웨이퍼 지지턱에 반도체 웨이퍼를 올려놓은 후 반도체 웨이퍼를 고정시키기 위한 고정수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

3 3

제 2항에 있어서,

상기 고정수단은,

웨이퍼 고정부재와, 상기 웨이퍼 고정부재를 내통상부에 고정시키는 고정나사로 구성된 것을 특징으로 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

4 4

제 2항에 있어서,

상기 내통의 상부에 식각액 흐름을 조절하기 위한 식각액 흐름조절수단이 부설된 것을 특징으로 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

5 5

제 4항에 있어서,

상기 식각액 흐름조절수단은,

사각형 또는 방사형 또는 동심원 구멍이 뚫린 그리드를 덮개구조물로 사용하는 것을 특징으로 하는 습식 식각용 반도체 웨이퍼 홀더

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.