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양단의 전극 사이에 한 층 이상의 절연막과 한 층 이상의 형광막으로 구성된 전계발광 디스플레이 소자에 있어서, 투명 기판 하부에 투명 전도막을 증착하는 단계와, 상기 투명 전도막 하부에 양면이 절연막으로 형성된 형광막을 증착하는 단계와, 상기 절연막 하부에 저반사율의 유사다이아몬드 탄소 박막 및 금속 전극을 순차적으로 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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2 |
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제 1 항에 있어서, 상기 형광막은, Mn, Ce, Tb, Eu, Tm, Er, Pr, Pb 등을 포함하는 천이금속 또는 알카리 희토류 금속이 발광 중심 원자로 작용하는 금속 황화물, 알카리 토류 황화물, 금속 갈륨 황화물 및 금속 산화물 중 어느 하나가 한층 이상인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막은 밴드갭이 3
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4 |
4
양단의 전극 사이에 한 층 이상의 절연막과 한 층 이상의 형광막으로 구성된 전계발광 디스플레이 소자에 있어서, 투명 기판 하부에 투명 전도막을 증착하는 단계와, 상기 투명 전도막 하부에 상부 절연막 및 형광막을 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 형광막 하부에 저반사율의 유사다이아몬드 탄소 박막, 하부 절연막 및 금속 전극을 순차적으로 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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5 |
5
제 4 항에 있어서, 상기 형광막은, Mn, Ce, Tb, Eu, Tm, Er, Pr, Pb 등을 포함하는 천이금속 또는 알카리 희토류 금속이 발광 중심 원자로 작용하는 금속 황화물, 알카리 토류 황화물, 금속 갈륨 황화물 및 금속 산화물 중 어느 하나가 한층 이상인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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6
제 4 항에 있어서, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막은 밴드갭이 1
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양단의 전극 사이에 한 층 이상의 절연막과 한 층 이상의 형광막으로 구성된 전계발광 디스플레이 소자에 있어서, 불투명 기판 상부에 금속 전극 및 저반사율의 유사다이아몬드 탄소 박막을 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막 상부에 양면이 절연막으로 형성된 형광막을 증착하는 단계와, 상기 절연막 상부에 투명 전도막을 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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8
제 7 항에 있어서, 상기 형광막은, Mn, Ce, Tb, Eu, Tm, Er, Pr, Pb 등을 포함하는 천이금속 또는 알카리 희토류 금속이 발광 중심 원자로 작용하는 금속 황화물, 알카리 토류 황화물, 금속 갈륨 황화물 및 금속 산화물 중 어느 하나가 한층 이상인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막은 밴드갭이 3
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양단의 전극 사이에 한 층 이상의 절연막과 한 층 이상의 형광막으로 구성된 전계발광 디스플레이 소자에 있어서, 불투명 기판 상부에 금속 전극, 상부 절연막 및 저반사율의 유사다이아몬드 탄소 박막을 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막 상부에 형광막, 하부 절연막 및 투명 전도막을 순차적으로 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 형광막은, Mn, Ce, Tb, Eu, Tm, Er, Pr, Pb 등을 포함하는 천이금속 또는 알카리 희토류 금속이 발광 중심 원자로 작용하는 금속 황화물, 알카리 토류 황화물, 금속 갈륨 황화물 및 금속 산화물 중 어느 하나가 한층 이상인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 유사다이아몬드 탄소 박막은 밴드갭이 1
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투명 기판 하부에 투명 전도 박막 및 형광막을 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 형광막 하부에 저반사율의 유사다이아몬드 탄소 박막 및 금속 전극을 순차적으로 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 형광막은, Mn, Ce, Tb, Eu, Tm, Er, Pr, Pb 등을 포함하는 천이금속 또는 알카리 희토류 금속이 발광 중심 원자로 작용하는 금속 황화물, 알카리 토류 황화물, 금속 갈륨 황화물 및 금속 산화물 중 어느 하나가 한층 이상인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이 소자의 제조 방법
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