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전력소자 제조 방법 및 그 구조

  • 기술번호 : KST2015076620
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전력 소자 제조방법 및 그 구조에 관한 것으로, 특히 집적회로(IC; integrated circuits)에서 전력 소자가 동작할 때 발생되는 열을 적절하게 방열시킬 수 있는 전력 소자 제조방법 및 그 구조에 관한 것이다. 본 발명은 에스오아이 실리콘 기판에서 기판 실리콘과 활성 실리콘 층사이에 있는 층간 산화막에 구멍을 뚫어 산화막 보다 열전도도가 우수한 다이아몬드 박막을 끼워 넣음으로써 전력 소자에서 발생된 열을 효과적으로 빼 낼 수 있게 하여 소자의 동작 특성과 신뢰성을 더욱 개선시킬 수 있다.
Int. CL H01L 27/04 (2006.01)
CPC H01L 27/0251(2013.01) H01L 27/0251(2013.01)
출원번호/일자 1019970072051 (1997.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0258177-0000 (2000.03.08)
공개번호/일자 10-1999-0052558 (1999.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노태문 대한민국 대전광역시 유성구
2 이대우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김상기 대한민국 대전광역시 유성구
4 구진근 대한민국 대전광역시 유성구
5 남기수 대한민국 대전광역시 유성구
6 김종대 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0224762-34
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0224763-80
3 특허출원서
Patent Application		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0224761-99
4 등록사정서
Decision to grant		 2000.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0041932-61
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-5055008-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

제 1 실리콘 기판상에 절연막을 형성한 후 식각 공정을 이용하여 상기 절연막에 실린더 형태의 홀을 형성하는 단계와,

홀이 형성된 전체 상부면에 다이아몬드 박막 및 다결정실리콘막을 순차적으로 형성하는 단계와,

상기 다결정실리콘막의 표면을 평탄화 시킨 후 전체 상부면에 제 2 실리콘 기판을 붙이는 단계와,

상기 제 1 실리콘 기판 하부면을 식각한 후 전력 소자를 이루기 위한 여러 요소를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력소자 제조 방법

2 2

제 1 실리콘 기판상에 형성된 다결정 실리콘막과,

상기 다결정실리콘막상에 형성된 다이아몬드 박막층과,

상기 다이아몬드 박막층 상에 형성되며 실린더 형태의 홀이 형성된 절연막과,

상기 절연막 상에 형성된 제 2 실리콘 기판과,

상기 제 2 실리콘 기판상에 형성되며 전력 소자를 이루기 위한 여러 요소를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 전력소자 구조

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.