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개별 소자로 제조되는, 신호광 및 펌핑광을 결합시키는 파장다중화기와 신호광 전송도파로를 저손실 도파로로 구성한 저손실 광 도파로 소자와 희토류 금속 이온이 함유된 도파로로 구성한 증폭용 광 도파로 소자로 구성되며, 상기 증폭용 광 도파로 소자는 상기 저손실 광 도파로 소자의 서로 끊어진 저손실 도파로의 상부에 위치하고, 희토류 금속 이온 함유 도파로의 일부가 저손실 도파로의 상부에서 겹치는 구조를 형성하도록 상기 두 광 도파로 소자를 결합시켜, 입력단의 저손실 도파로에서 신호광 및 펌핑광이 상부의 희토류 금속 이온이 함유된 도파로쪽으로 자연스럽게 이동되어 광 증폭이 일어난 후 다시 하부의 출력단의 저손실 도파로로 이동되어 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기
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제1항에 있어서, 상기 저손실 광 도파로 소자와 상기 증폭용 광 도파로의 결합은 UV 경화 에폭시, 또는 스프링을 이용하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기
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제1항에 있어서, 상기 저손실 광 도파로 소자와 상기 증폭용 광 도파로 소자의 결합은 정확한 정렬을 위하여 저손실 도파로의 클래드층 일부를 식각 등의 방법으로 가공하여 결합공간을 마련하여, 그곳에 증폭용 광 도파로 소자를 장착하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 저손실 광 도파로 소자와 상기 증폭용 광 도파로의 결합 부위에 UV 경화 적외선 투과 에폭시 또는 굴절율 정합액 등의 저손실 매질을 충진시켜 광 손실을 감소시키는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기
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개별 소자로 제조되는, 신호광 및 펌핑광을 결합시키는 파장다중화기와 집적하고자 하는 기능성 수동소자들을 저손실 도파로로 구성한 저손실 광 도파로 소자와 희토류 금속 이온이 함유된 도파로로 구성한 증폭용 광 도파로 소자로 구성되며, 상기 증폭용 광 도파로 소자는 상기 저손실 광 도파로 소자의 서로 끊어진 저손실 도파로의 상부에 위치하고, 희토류 금속 이온 함유 도파로의 일부가 저손실 도파로의 상부에서 겹치는 구조를 형성하도록 상기 두 광 도파로 소자를 결합시켜, 입력단의 저손실 도파로에서 신호광 및 펌핑광이 상부의 희토류 금속 이온이 함유된 도파로쪽으로 자연스럽게 이동되어 광 증폭이 일어난 후 다시 하부의 출력단의 저손실 도파로로 이동되어 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 기능성 수동소자가 포함된 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기
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신호광 및 펌핑광을 결합시키는 파장다중화기와 신호광 전송도파로를 저손실 도파로로 구성한 저손실 광 도파로 소자를 제조하는 공정과; 희토류 금속 이온이 함유된 도파로로 구성한 증폭용 광 도파로 소자를 제조하는 공정; 및 상기 두 광 도파로 소자를 결합시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 저손실 광 도파로 소자를 제조하는 공정은, 실리콘 기판상에 화염가수분해법등을 이용하여 소정의 굴절율 차를 갖는 버퍼층과 코아층을 형성하는 단계; 상기 코아층 위에 열 증착을 통하여 소정 두께의 금속 마스크를 형성한 후, 포토 리소그라피와 습식 식각을 통하여 신호광 및 펌핑광을 결합시키는 파장다중화기와 신호광 전송도파로를 구성할 도파로 패턴을 형성하는 단계; 및 유도결합플라즈마 식각을 통하여 신호광 및 펌핑광을 결합시키는 파장다중화기와 신호광 전송도파로를 식각하고 난 후 금속막을 제거하고, 그 위에 화염가수분해법을 이용하여 상부 클래드층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 증폭용 광 도파로 소자를 제조하는 공정은, Er 이온이 함유된 규산염 유리 위에 소정 두께의 금속 박막을 열증착으로 형성하는 단계와; 포토리소그라피 및 습식 식각을 통하여 도파로 패턴을 형성한 후, 용융된 KNO3 염 속에 일정 시간 함침시켜 규산염 유리의 Na 이온을 K 이온으로 교환하여 도파로를 형성한 다음, 금속 박막을 산 용액으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 증폭용 광 도파로 소자를 제조하는 공정은, Er 이온과 Yb 이온이 함께 첨가된 인산염 유리위에 소정 두께의 금속 박막을 열증착으로 형성하는 단계와; 포토리소그라피 및 습식 식각을 통하여 도파로 패턴을 형성한 후, 용융된 KNO3 염 속에 일정 시간 함침시켜 인산염 유리의 Na 이온을 K 이온으로 교환하여 도파로를 형성한 다음, 금속 박막을 산 용액으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 두 광 도파로 소자를 결합시키는 공정은, 상기 저손실 광 도파로 소자의 상부 클래드층에 포토리소그라피와 식각을 통하여 노출부를 형성하는 단계; 이미 제조된 증폭용 광 도파로 소자를 정밀 가공하여 적정한 크기로 만든 후, 자외선 경화 에폭시를 발라 상기 노출부에 부착하고, 신호광을 입사시켜 신호광의 손실이 최소가 되도록 광 증폭용 도파로 소자의 위치를 미세 조정하는 단계; 자외선을 조사하여 에폭시를 경화시켜 두 광 도파로 소자를 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 두 광 도파로 소자를 결합시키는 공정은, 상기 저손실 도파로 소자의 상단에 소정의 굴절율을 갖는 굴절율 정합액을 균일하게 도포한 후 광 증폭용 도파로 소자를 올려 놓고 미리 만들어진 스프링 체결하여 결합시키는 것을 특징으로 하는 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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실리콘 기판상에 화염가수분해법을 이용하여 소정의 굴절율 차를 갖는 버퍼층과 코아층을 형성하는 단계; 상기 코아층 위에 열 증착을 통하여 소정 두께의 금속 마스크를 형성한 후, 포토 리소그라피와 습식 식각을 통하여 집적하고자 하는 파장다중화기 및 기능성 수동소자들의 도파로 패턴을 형성하는 단계; 및 유도결합플라즈마 식각을 통하여 파장다중화기와 기능성 수동소자들을 형성하고 난 후 금속막을 제거하고, 그 위에 화염가수분해법을 이용하여 상부 클래드층을 형성하는 단계를 포함하는 기능성 수동소자를 포함하는 저손실 광 도파로 소자를 제조하는 공정과; Er 이온 또는 Er 이온과 Yb 이온이 함유된 규산염 또는 인산염 유리 위에 소정 두께의 금속 박막을 열증착으로 형성하는 단계; 포토리소그라피 및 습식 식각을 통하여 도파로 패턴을 형성한 후, 용융된 KNO3 염 속에 일정 시간 함침시켜 규산염 또는 인산염 유리의 Na 이온을 K 이온으로 교환하여 도파로를 형성한 다음, 금속 박막을 산 용액으로 제거하는 단계를 포함하는 희토류 금속 이온이 함유된 도파로로 구성한 증폭용 광 도파로 소자를 제조하는 공정; 및 상기 저손실 광 도파로 소자의 서로 끊어진 저손실 도파로의 상부에 상기 증폭용 광 도파로 소자를 위치시키고, 희토류 금속 이온 함유 도파로의 일부가 저손실 도파로의 상부에서 겹치도록 두 광도파로 소자를 결합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 수동소자가 포함된 이종 접합 평면 도파로형 광증폭기 제조 방법
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