요약 | 본 발명은 턴낼링에 의한 누설전류를 줄이며 광흡수층에서 생성된 전하들이 원활하게 이동할 수 있게 함으로써 턴낼링 누설전류를 최소화한 광검출기와 이종접합 바이폴라 트랜지스터가 단일 칩으로 비교적 복잡하지 않고 재현성 있게 구현된 광수신 칩을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 기판 상에 광검출기와 이종접합 바이폴라 트랜지스터가 함께 집적화된 광수신 칩에 있어서, 상기 광검출기는, 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형의 제1 InP층; 상기 제1 InP층 상부에 적층된 제1 도전형의 InGaAs로 이루어진 광흡수층; 상기 광흡수층 상부에 적층된 제2 도전형의 제2 InP층; 상기 제1 InP층과 상기 광흡수층 사이에 배치된 제1 도전형의 제1 InGaAsP층; 상기 광흡수층과 상기 제2 InP층 사이에 배치된 제2 도전형의 제2 InGaAsP층; 및 상기 제2 InP층 상에 배치된 제2 도전형의 InGaAs로 이루어진 오믹층을 구비하며, 상기 이종접합 바이폴라 트랜지스터는, 상기 오믹층 상에 배치된 제1 도전형의 InGaAs로 이루어진 서브 콜렉터층; 상기 서브 콜렉터층 상에 배치된 제1 도전형의 InGaAsP로 이루어진 희생층; 상기 희생층 상에 배치된 제1도전형의 InGaAs로 이루어진 콜렉터층; 상기 콜렉터층 상에 배치된 제2 도전형의 InGaAsP로 이루어진 베이스층; 및 상기 베이스층 상에 배치된 제1도전형의 InP로 이루어진 에미터층을 구비하는 것을 특징으로 하는 광수신 칩을 제공한다.InGaAs, InGaAsP, 단차, 격자 정합, 이종접합 바이폴라 트랜지스터, 광검출기, 광수신 칩. |
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Int. CL | H01L 31/12 (2006.01) |
CPC | H01L 31/1105(2013.01) H01L 31/1105(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020010047655 (2001.08.08) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0444820-0000 (2004.08.09) |
공개번호/일자 | 10-2003-0013580 (2003.02.15) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20040818) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2001.08.08) |
심사청구항수 | 3 |