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매립형 리지 구조의 전류 차단층을 갖는 광소자 및 그제조 방법

  • 기술번호 : KST2015078004
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 매립형 리지 구조의 전류 차단층을 갖는 광소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 매립형 리지 구조에서 전류 차단층으로 사용되는 이온주입층과 활성층의 사이에서 발생하는 누설 전류를 줄이기 위하여 반도체 성장 기법을 이용하여 P-N-P 구조의 전류 차단층과 이온주입에 의한 전류 차단층을 효과적으로 결합함으로써, 누설 전류를 최대한 억제하여 고성능의 매립형 리지 구조의 전류 차단층을 갖는 광소자 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것으로서, 이를 위해 본 발명의 매립형 리지 구조의 전류 차단층을 갖는 광소자는, 기판 상의 소정영역에 메사 구조로 제공되는 활성층; 상기 메사 구조를 덮도록 배치된 P-N-P 구조의 제1 전류 차단층; 및 상기 제1 전류 차단층의 주변을 둘러싸도록 배치되어 매립형 리지 구조를 이루는 제2 전류 차단층을 포함한다.또한, 본 발명은 매립형 리지 구조의 전류 차단층을 갖는 광소자의 제조 방법을 제공한다.전류 차단층, InP, 활성층, 클래드층,금속유기화학기상 증착법.
Int. CL H01S 5/32 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010018215 (2001.04.06)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0078189 (2002.10.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.04.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성복 대한민국 대전광역시유성구
2 김정수 대한민국 충청남도 공주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2001-0077603-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2002.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2002.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2002-0032758-98
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2003.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0077106-66
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2003.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0180398-64
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
14 출원인정보변경(경정)신고서
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2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
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2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
16 출원인정보변경(경정)신고서
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2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
17 출원인정보변경(경정)신고서
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2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

반도체 광소자에 있어서,

기판 상의 소정영역에 메사 구조로 제공되는 활성층;

상기 메사 구조를 덮도록 배치된 P-N-P 구조의 제1 전류 차단층; 및

상기 제1 전류 차단층의 주변을 둘러싸도록 배치되어 매립형 리지 구조를 이루는 제2 전류 차단층

을 포함하여 이루어지는 광소자

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제1 전류 차단층은,

상기 메사 구조 및 그 주변 영역을 덮는 제1 P형 클래드층;

상기 제1 P형 클래드층에 덮힌 상기 메사 구조의 주변 영역을 둘러싸도록 배치된 N형 클래드층; 및

상기 메사 구조 및 상기 N형 클래드층 상부에 오버랩 되도록 배치된 제2 P형클래드층을 포함하여 이루어지는 광소자

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제2 전류 차단층은,

상기 제1 및 제2 P형 클래드층과 상기 N형 클래드층을 이루는 물질층과 동일한 물질층에 수소이온이 도핑된 물질층인 것을 특징으로 하는 광소자

4 4

제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제1 및 제2 P형 클래드층과 상기 N형 클래드층을 이루는 물질층은 각각 InP로 이루어진 것을 특징으로 하는 광소자

5 5

반도체 광소자 제조 방법에 있어서,

기판 상의 소정영역에 메사 구조의 활성층을 형성하는 제1 단계;

상기 메사 구조가 형성된 전체 구조 표면을 따라 제1 도전형 제1 클래드층을 형성하는 제2 단계;

상기 제1 클래드층 상에 측면 성장이 우세한 성장 조건을 이용하여 제2 도전형 제2 클래드층을 형성하는 제3 단계;

상기 제2 클래드층을 전면식각하여 상기 활성층 상부의 상기 제1 클래드층이 노출되도록 하는 제4 단계;

상기 제4 단계를 마친 전체 구조 상부에 제1 도전형 제3 클래드층을 향성하여 평탄화를 이루는 제5 단계;

상기 메사 구조 및 상기 제2 클래드층의 주변 영역에 전류 차단층 형성을 위한 불순물 도핑을 실시하는 제6 단계

를 포함하여 이루어지는 광소자 제조 방법

6 6

제 5 항에 있어서,

상기 제6 단계는,

상기 메사 구조 및 상기 제2 클래드층을 덮는 이온주입용 차단 마스크를 형성하는 제7 단계와, 상기 이온주입용 차단 마스크를 사용하여 수소 이온주입을 실시하는 제8 단계를 포함하여 이루어지는 광소자 제조 방법

7 7

제 5 항에 있어서,

상기 제4 단계의 상기 전면식각은, 습식 식각 방식으로 수행하는 것을 특징으로 하는 광소자 제조 방법

8 8

제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 제1 도전형은 P형이며, 상기 제2 도전형은 N형인 것을 특징으로 하는 광소자 제조 방법

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1 US06653162 US 미국 FAMILY
2 US20020145149 US 미국 FAMILY

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1 US2002145149 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US6653162 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.