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이중 구조의 나노점을 갖는 광전소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015078560
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이중 구조의 나노점을 형성하여 전자와 정공이 구속되는 밀도를 높임으로써 발광과 수광하는 광전효과를 증가시킨 광전소자 및 그 제조방법을 제공하는 것으로, 반도체 기판상에 형성된 전자주입층, 나노점 및 전공주입층을 포함하여 구성되는 광전소자에 있어서, 나노점은 외부 나노점과 내부 나노점의 이중 구조로 이루어진 광전소자와 반도체 기판상에 전자주입층을 형성하는 단계, 전자주입층 상에 에피성장으로 나노점층을 성장시키는 단계, 열처리를 통하여 나노점은 외부 나노점과 내부 나노점의 이중 구조로 형성하는 단계 및 전체구조상에 정공주입층을 형성하는 단계를 포함하는 광전소자의 제조방법을 제공한다. 나노점, 전자주입층, 정공주입층, 광전소자
Int. CL H01L 33/00 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020020052210 (2002.08.31)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0491051-0000 (2005.05.13)
공개번호/일자 10-2004-0020582 (2004.03.09) 문서열기
공고번호/일자 (20050524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.08.31)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심규환 대한민국 대전광역시유성구
2 송영주 대한민국 대전광역시유성구
3 김상훈 대한민국 대전광역시중구
4 강진영 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2002-0285374-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0015870-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0488051-17
5 의견서
Written Opinion
2005.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2005-0025406-28
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2005.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0025401-01
7 등록결정서
Decision to grant
2005.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0220455-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
반도체 기판상에 형성된 전자주입층, 나노점 및 전공주입층을 포함하여 구성되는 광전소자에 있어서, 상기 나노점은 외부 나노점과 내부 나노점의 이중 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 외부 나노점은 간접천이형 반도체로 이루어지고, 상기 내부 나노점은 직접천이형 반도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광전소자
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 전자주입층과 상기 전공주입층 사이에 형성되며, 내부에 나노점을 구비하는 양자우물층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광전소자
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 양자우물층은 깊은 양자우물층 및 얕은 양자우물층의 이중구조로 이루어지며, 상기 나노점과 인접하여 대칭으로 깊은 양자우물층이 형성되고, 이 층의 상,하부 각각에 얕은 양자우물층이 형성된 것을 특징으로 하는 하는 광전소자
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 나노점이 형성된 나노점층이 2개 이상 반복적으로 형성된 것을 특징으로 하는 광전소자
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 전자 주입층 및 정공주입층은 Si, GaAs, GaN, InP 또는 SiC 물질로 이루어지며, 상기 양자우물층은 SiGe, InGaAs, InGaN 또는 InAsP 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광전소자
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 외부 나노점의 직경은 10 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 광전소자
8 8
반도체 기판상에 전자주입층을 형성하는 단계; 상기 전자주입층 상에 에피성장으로 나노점층을 성장시키는 단계; 열처리를 통하여 상기 나노점은 외부 나노점과 내부 나노점의 이중 구조로 형성하는 단계; 및 상기 전체구조상에 정공주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 나노점층 성장 단계의 전후 각각에, 양자우물층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서
11 11
제 8 항에 있어서, 상기 외부 나노점은 간접천이형 반도체로 형성하고, 상기 내부 나노점은 직접천이형 반도체로 형성하는 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
12 12
제 8 항에 있어서, 상기 나노점층은 2개 이상 반복적으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
13 13
제 8 항에 있어서, 상기 전자 주입층 및 정공주입층은 Si, GaAs, GaN, InP 또는 SiC 물질을 이용하여 형성하고, 상기 양자우물층은 SiGe, InGaAs, InGaN 또는 InAsP 물질을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
14 14
제 8 항에 있어서, 상기 외부 나노점의 직경은 10 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
15 14
제 8 항에 있어서, 상기 외부 나노점의 직경은 10 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 광전소자의 제조방법
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1 US2004041144 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2005006636 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US6791105 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US7094617 US 미국 DOCDBFAMILY
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