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곡면 구조를 갖는 금형의 제조방법 및 이를 이용한광도파로 소자의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015078624
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광접속 효율을 향상시킬 수 있는 광도파로 소자 제조를 위한 금형의 제조방법 및 이를 이용한 광도파로 소자의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 금형 제조 방법은 감광막 상부에서 X선 마스크를 정해진 속도로 이동시키면서 X선을 조사하여 X선 도즈량을 조절한 후 현상하여 현상률 차이로 인해 일단면이 곡면을 갖는 감광막 패턴을 형성한다. 이어서, 상기 곡면 단면을 갖는 감광막 패턴 상에 금속막을 도금하여 도금 구조물을 형성한 후 상기 도금 구조물 내의 감광막 패턴을 제거하여 곡면홈을 갖는 금형을 완성한다. 더하여, 본 발명은 상기 금형과 핫 엠보싱 장치를 이용하여 단순성형으로 광접속 효율을 향상시키면서도 경제성 및 생산성이 높은 광도파로 소자를 제조한다.
Int. CL G02B 6/13 (2006.01)
CPC G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01)
출원번호/일자 1020020027059 (2002.05.16)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0420958-0000 (2004.02.19)
공개번호/일자 10-2003-0089605 (2003.11.22) 문서열기
공고번호/일자 (20040302) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.05.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정명영 대한민국 대전광역시유성구
2 한상필 대한민국 대전광역시서구
3 김진태 대한민국 서울특별시구로구
4 김병철 대한민국 전라북도전주시덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2002-0149427-47
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0002245-10
5 등록결정서
Decision to grant		 2004.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0024717-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기판 상에 감광막을 형성하는 단계;

감광막이 형성된 기판 상부에 광흡수패턴을 포함하는 X선 마스크를 위치시키는 단계;

상기 X선 마스크를 정해진 속도로 이동시키면서 상기 감광막에 X선을 조사하여 X선 도즈량을 조절하는 단계;

상기 X선 도즈량이 조절된 감광막을 현상하여 현상률 차이로 인해 일단면이 곡면을 갖는 감광막 패턴을 형성하는 단계;

상기 곡면 단면을 갖는 감광막 패턴 상에 금속막을 도금하여 도금 구조물을 형성하는 단계; 및

상기 도금 구조물 내의 감광막 패턴을 제거하여 곡면홈을 갖는 금형을 완성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조용 금형 제조 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 X선 마스크의 이동 속도[V(t)]는 3

기판 상에 하부 클래드층을 형성하는 단계;

상기 하부 클래층 상에 코아층을 형성하는 단계;

곡면을 갖는 금형을 이용하여 상기 코아층의 일단면이 곡면 거울을 갖게끔 성형하는 단계; 및

상기 코아층 상에 상부 클래드층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 제조방법

4 4

제3항에 있어서, 상기 하부 클래드층과 상기 코아층은 서로 유리 전이 온도가 다른 폴리머 레진으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 제조방법

5 5

제3항에 있어서, 상기 곡면 거울을 갖는 코아층의 성형은 핫 엠보싱 장치를 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 제조방법

6 6

제3항에 있어서, 상기 곡면 거울을 갖는 코아층의 성형은 130∼200℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자의 제조방법

7 7

제3항에 있어서, 상기 코아층의 곡면 거울의 기하학적인 관계는
지정국 정보가 없습니다

패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.