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능동 도파로 영역에 능동 메사 패턴과, 수동 도파로 영역에 수동 메사 패턴이 형성된 기판을 제공하는 단계; 전체 구조상에 제 1 도핑되지 않은 클래딩막, N형 클래딩막 및 제 1 P형 클래딩막을 순차적으로 형성하는 단계; 패터닝 공정을 통해 상기 능동 도파로 영역의 상기 제 1 P형 클래딩막 및 상기 N형 클래딩막 및 일부의 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막을 제거하는 단계; 전체 구조상에 제 2 P형 클래딩막을 형성하는 단계; 및 상기 능동 도파로 영역의 상기 능동 메사 패턴과 대응되도록 상기 제 2 P형 클래딩막 상에 오옴 접촉막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막은, 상기 수동 도파로 영역의 광 도파 손실을 방지하고, 상기 능동 도파로 영역의 누설 전류를 방지하기 위해, 도핑되지 않은 InP막을 0
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제 1 항에 있어서, 상기 N형 클래딩막은, 후속 공정에 의해 P형 도판트가 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막으로 확산되는 현상을 방지하기 위해 N타입 도핑된 InP막을 0
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제 1 항에 있어서, 상기 패터닝 공정은, 상기 능동 메사 패턴을 중심 기준으로 그 양옆으로 상기 능동 메사 패턴의 선폭의 2 배 내지 10배 폭만큼 각각 개방하는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 P형 클래딩막을 형성하는 단계는, P타입 도핑된 InP막을 성장하여 형성하되, 상기 P타입 도핑된 InP막의 성장 시 상기 제 2 P형 클래딩막과 접촉된 영역의 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막이 P타입으로 도핑되는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 능동 메사 패턴은, 상기 기판의 상기 능동 도파로 영역 상에 능동 코어막 및 제 3 P형 클래딩막을 형성하는 단계; 및 패터닝 공정을 실시하여 상기 제 3 P형 클래딩막 및 상기 능동 코어막을 제거하고, 상기 기판의 일부를 제거하는 단계를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 수동 메사 패턴은, 상기 기판의 상기 수동 도파로 영역 상에 수동 코어막 및 제 2 도핑되지 않은 클래딩막을 형성하는 단계; 및 패터닝 공정을 실시하여 상기 제 2 도핑되지 않은 클래딩막 및 상기 수동 코어막을 제거하고, 상기 기판의 일부를 제거하는 단계를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 패터닝 공정 단계와 제 2 P형 클래딩막 형성단계 사이 또는 제 2 P형 클래딩막 형성단계와 오옴 접촉막 형성단계 사이에, 수소 이온주입을 통해 패시베이션막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자의 제조 방법
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소정의 영역에 능동 메사 구조와 수동 메사 구조가 형성된 반도체 기판; 상기 능동 메사 구조 주변을 둘러싸도록 배치되어 상기 능동 메사 구조의 누설 전류를 방지하고, 상기 수동 메사 구조를 매립하여 광 도파 손실을 방지하는 제 1 도핑되지 않은 클래딩막; 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막상에 배치되어, 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막으로 P형 도판트가 확산되는 것을 방지하는 N형 클래딩막; 상기 능동 메사 구조를 매립하고, 상기 N형 클래딩막 상에 배치되어, 상기 능동 메사 구조에 전류를 주입하기 위한 P형 클래딩막; 및 상기 능동 메사 구조를 매립하는 상기 P형 클래딩막상에 배치된 오옴 접촉막을 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자
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소정의 영역에 능동 메사 구조와 수동 메사 구조가 형성된 반도체 기판; 상기 능동 메사 구조 주변을 둘러싸도록 배치되어 상기 능동 메사 구조의 누설 전류를 방지하고, 상기 수동 메사 구조를 매립하여 광 도파 손실을 방지하는 제 1 도핑되지 않은 클래딩막; 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막상에 배치되어, 상기 제 1 도핑되지 않은 클래딩막으로 P형 도판트가 확산되는 것을 방지하는 N형 클래딩막; 상기 능동 메사 구조를 매립하고, 상기 N형 클래딩막 상에 배치되어, 상기 능동 메사 구조에 전류를 주입하기 위한 P형 클래딩막; 및 상기 능동 메사 구조를 매립하는 상기 P형 클래딩막상에 배치된 오옴 접촉막을 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자
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