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반도체 기판 상에 형성된 제 1 클래딩층, 활성영역구조층 및 제 2 클래딩층을 포함하며, 상기 활성영역 구조층은 양자 우물층과 양자 장벽층이 복수회 반복적층되며, 상기 양자 우물층과 상기 양자 장벽층이 브로큰 밴드갭 에너지(broken bandgap energy)를 갖는 이종구조 (heterostructure)로, 인터밴드 터널링이 가능하며, 상기 반도체 기판의 하부와 상기 클래딩 층의 상부에 각각 구비되는 전극들을 포함하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저(interband tunneling subband transition semiconductor LASER)
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제 1 항에 있어서, 상기 전극들에 전원을 인가하였을 때 상기 활성영역 구조층 내에서 캐리어의 부밴드 천이(subband transition) 및 인터밴드 공진 터널링(interband resonant tunneling)이 연속적으로 발생하는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 양자 우물층이 InAs, InGaAsSb, InAlSb, 또는 InAsSb를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 양자 장벽층이 GaSb, GaInSb, GaSb, GaInSb, 또는 GaAlSb를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 부밴드 천이 및 인터밴드 공진 터널링이 캐스케이드(cascade) 방식으로 일어나는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 각 양자 우물층이 전도대의 최소 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 양자 장벽층의 가전자대의 최대 에너지가 상기 두 물질층의 최소 에너지 중 큰 쪽의 최소 에너지보다 높은 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 각 양자 장벽층이 가전자대의 최대 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 양자 우물층의 전도대의 최소 에너지가 상기 두 물질층의 최대 에너지 중 작은 쪽의 최대 에너지보다 낮은 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 각 양자 우물층이 전도대의 최소 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 각 양자 장벽층이 가전자대의 최대 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 양자 우물층의 두 물질층의 전도대의 최소 에너지 중 큰 쪽의 최소 에너지가 상기 양자 장벽층의 두 물질층의 가전자대의 최대 에너지 중 작은 쪽의 최대 에너지보다 낮은 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 각 양자 우물층이 전도대의 최소 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 각 양자 장벽층이 세 개의 물질층을 포함하고 상기 양자 장벽층의 세 물질층 중 가운데 물질층의 가전자대의 최대 에너지가 다른 두 물질 층의 가전자대의 최대 에너지보다 낮고, 상기 양자 우물층의 두 물질층의 전도대의 최소 에너지 중 큰 쪽의 최소 에너지가 상기 양자 장벽층의 세 물질층의 가전자대의 최대 에너지 중 가장 작은 쪽의 최대 에너지보다 낮은 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 각 양자 장벽층이 가전자대의 최대 에너지가 상이한 두 물질층을 포함하고, 상기 각 양자 우물층이 세 개의 물질층을 포함하고 상기 양자 우물층의 세 물질층 중 가운데 물질층의 전도대의 최소 에너지가 다른 두 물질 층의 전도대의 최소 에너지보다 낮고, 상기 양자 장벽층의 두 물질층의 가전자대의 최대 에너지 중 작은 쪽의 최대 에너지가 상기 양자 우물층의 세 물질층의 전도대의 최소 에너지 중 가장 큰 쪽의 최소 에너지보다 높은 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 양자 우물층이 다중 양자우물 구조 또는 초격자 구조의 복합구조를 갖는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 클래딩층과 상기 활성영역 구조층 사이에 제 2 웨이브 가이드층을 더 포함하고,상기 제 1 클래딩층과 상기 활성영역 구조층 사이에 제 1 웨이브 가이드층을 더 포함하고, 상기 반도체 기판과 상기 제 1 클래딩층 사이에 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터밴드 터널링 부밴드 천이 반도체 레이저
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