요약 | 본 발명은 전도성 기판과 활성층 광의 접촉을 확대시킬 수 있는 나노로드의 밀집도가 조절된 전도성 기판 구조체 및 그 전도성 기판 구조체 제조 방법을 제공한다. 그 전도성 기판 구조체는 베이스(base) 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고 유기분자에 의해 표면이 처리된 전도성 기판; 및 상기 전도성 기판 상에 도포된 씨드(seed)로부터 성장시킨 나노로드;를 포함하고, 상기 유기분자의 자기 조립 특성에 의해 상기 씨드가 전도성 기판 상의 일정 영역에만 도포되어 상기 나노로드의 밀집도가 조절될 수 있다. 또한, 그 기판 구조체 제조방법은 베이스 기판 상에 형성된 전도성 기판을 유기분자 처리하는 단계; 상기 유기분자의 자기 조립 특성을 통해 씨드를 상기 전도성 기판 상의 일정 영역에만 도포하는 단계; 및 상기 씨드로부터 밀집도가 조절된 나노로드를 성장시키는 단계;를 포함한다. |
---|---|
Int. CL | H01L 33/00 (2014.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020070098886 (2007.10.01) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0932903-0000 (2009.12.11) |
공개번호/일자 | 10-2009-0033712 (2009.04.06) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20091221) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.10.01) |
심사청구항수 | 19 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전자통신연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 전용석 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 강만구 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 이승엽 | 대한민국 | 경북 경산시 |
4 | 윤호경 | 대한민국 | 서울 마포구 |
5 | 박종혁 | 대한민국 | 대전 유성구 |
6 | 박헌균 | 대한민국 | 대전 유성구 |
7 | 김종대 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 대한민국(산업통상자원부장관) | 세종특별자치시 한누리대 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2007.10.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0707581-87 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.07.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.08.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0051031-22 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0209437-99 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.07.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0439954-18 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.07.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0439960-93 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2009.08.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150899-36 |
8 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.11.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0484865-44 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 베이스(base) 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고 유기분자에 의해 표면이 처리된 전도성 기판; 및 상기 전도성 기판 상에 도포된 씨드(seed)로부터 성장시키되, 아세트산 아연 단량체 용액 내에서 소정 시간 동안 성장된 나노로드;를 포함하고, 상기 유기분자의 자기 조립 특성에 의해 상기 씨드가 전도성 기판 상의 일정 영역에만 도포되어 상기 나노로드의 밀집도가 조절된 전도성 기판 구조체 |
2 |
2 제1 항에 있어서, 상기 베이스 기판은 유리(glass) 또는 금속(metal) 기판인 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
3 |
3 제1 항에 있어서, 상기 전도성 기판은 FTO(F-doped SnO2) 또는 ITO(InSO2) 투명 기판인 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
4 |
4 제1 항에 있어서, 상기 유기분자는 실레인(silane) 계열, 인산계열, 황산계열, 및 상기 인산 또는 황산의 유도체 중 어느 하나이고, 상기 인산계열은 인산(phosphoric acid), 인산염(phosphate), 및 차아인산염(hypo-phosphate) 중의 어느 하나의 작용기를 가지며, 상기 황산계열은 황산(sulfuric acid), 황산염(sulfate), 및 차아황산염(hypo-sulfate) 중의 어느 하나의 작용기를 갖는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
5 |
5 제1 항에 있어서, 상기 씨드는 산화아연(ZnO)이고, 열증착, 스퍼터링(sputtering), 및 스핀 코팅 중 어느 하나의 방법으로 도포되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
6 |
6 제1 항에 있어서, 상기 나노로드 성장 후, 상기 유기분자는 산소 분위기 및 250 ℃ 열처리를 통해서 제거되거나 과산화수소수와 황산 혼합 용액에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
7 |
7 제1 항에 있어서, 상기 전도성 기판 구조체는 집적도가 조절된 상기 나노로드를 통해 활성층과의 접촉면적이 증가되는 것을 특징으로 전도성 기판 구조체 |
8 |
8 제7 항에 있어서, 상기 전도성 기판 구조체는 유기 태양전지 또는 염료감응 태양전지(dye-sensitized nanocrystalline solar cell)에 이용되는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 |
9 |
9 베이스 기판 상에 형성된 전도성 기판을 유기분자 처리하는 단계; 상기 유기분자의 자기 조립 특성을 통해 씨드를 상기 전도성 기판 상의 일정 영역에만 도포하는 단계; 및 상기 씨드로부터 밀집도가 조절된 나노로드를 성장시키되, 상기 나노로드를 아세트산 아연 단량체 용액 내에서 소정 시간 동안 성장시키는 단계;를 포함하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
10 |
10 제9 항에 있어서, 전도성 기판은 상기 전도성 기판은 FTO(F-doped SnO2) 또는 ITO(InSO2) 투명 기판이고, 베이스 기판은 상기 베이스 기판은 유리(glass) 또는 금속(metal) 기판인 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
11 |
11 제9 항에 있어서, 상기 유기분자는 상기 유기분자는 실레인(silane) 계열, 인산계열, 황산계열, 및 상기 인산 또는 황산의 유도체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
12 |
12 제11 항에 있어서 상기 인산계열은 인산(phosphoric acid), 인산염(phosphate), 및 차아인산염(hypo-phosphate) 중의 어느 하나의 작용기를 가지며, 상기 황산계열은 황산(sulfuric acid), 황산염(sulfate), 및 차아황산염(hypo-sulfate) 중의 어느 하나의 작용기를 갖는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
13 |
13 제11 항에 있어서, 상기 유기분자가 OTS(octadecyltrichlorosilane)인 경우, 상기 전도성 기판을 OTS 아이소옥탄(isooctane) 용액에 1 ~ 2분 동안 담가 상기 유기분자 처리를 하고, 상기 유기분자가 인산인 경우, 상기 전도성 기판을 상기 인산을 알코올에 녹인 용액에 20 ~ 30 분 동안 담가 상기 유기분자 처리를 하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
14 |
14 제13 항에 있어서, 상기 유기분자 처리 후, 아이소옥탄으로 상기 전도성 기판을 세정하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
15 |
15 제9 항에 있어서, 상기 씨드는 ZnO이고, 상기 씨드를 상기 유기분자 처리된 상기 전도성 기판 상에 열증착, 스퍼터링(sputtering), 및 스핀 코팅 중 어느 하나의 방법으로 도포하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
16 |
16 제15 항에 있어서, 상기 ZnO 씨드는 1 |
17 |
17 제16 항에 있어서, 상기 나노로드는 ZnO 씨드가 도포된 상기 전도성 기판을 상기 단량체 용액에 24 시간 이상을 담가 1 ~ 2 ㎛ 정도로 성장시키는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
18 |
18 제9 항에 있어서, 상기 나노로드 성장 후, 상기 유기분자는 산소 분위기 및 250 ℃ 열처리를 통해서 제거되거나 과산화수소수와 황산 혼합 용액에 의해 제거하는 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
19 |
19 제9 항에 있어서, 상기 유기분자 처리를 통하여 상기 나노로드의 집적도를 조절함으로써, 상기 전도성 기판의 상부로 적층되는 활성층과의 접촉면적을 증가시킨 것을 특징으로 하는 전도성 기판 구조체 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP02045849 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | EP2045849 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 정보통신부 | 한국전자통신연구원 | IT신성장동력핵심기술개발사업 | 유비쿼터스 단말용 부품 모듈 |
특허 등록번호 | 10-0932903-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20071001 출원 번호 : 1020070098886 공고 연월일 : 20091221 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20091125 청구범위의 항수 : 19 유별 : H01L 21/20 발명의 명칭 : 나노로드 밀집도가 조절된 전도성 기판 구조체 및 그전도성 기판 구조체 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구... |
2 |
(의무자) 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구... |
2 |
(권리자) 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 393,000 원 | 2009년 12월 14일 | 납입 |
제 4 - 18 년분 | 금 액 | 0 원 | 2012년 09월 19일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2007.10.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0707581-87 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.07.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2008.08.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0051031-22 |
4 | 의견제출통지서 | 2009.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0209437-99 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.07.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0439954-18 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.07.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2009-0439960-93 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2009.08.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2009-5150899-36 |
8 | 등록결정서 | 2009.11.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0484865-44 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415100592 |
---|---|
세부과제번호 | KI001602 |
연구과제명 | 유비쿼터스단말용부품/모듈 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 한국전자통신연구원 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200603~201002 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1445006473 |
---|---|
세부과제번호 | 2006-S-006-02 |
연구과제명 | 유비쿼터스단말용부품/모듈 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 정보통신연구진흥원 |
연구주관기관명 | 한국전자통신연구원 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200703~200802 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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