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웨이퍼에 코어 비아홀을 형성하는 단계;
상기 코어 비아홀과 인접하도록 상기 웨이퍼에 흡입 비아홀을 형성하는 단계;
상기 코어 비아홀에 비아 코어를 형성하는 단계;
상기 웨이퍼에 상기 흡입 비아홀과 연통된 폴리머 비아홀을 형성하는 단계;
상기 흡입 비아홀을 통해 상기 폴리머 비아홀의 내부를 진공시켜서 상기 폴리머 비아홀에 폴리머 용액을 충진하는 단계; 및
상기 코어 비아홀에 형성된 상기 비아 코어가 외부로 노출되도록 상기 웨이퍼를 연마하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 웨이퍼에 코어 비아홀을 형성하는 단계와, 상기 웨이퍼에 흡입 비아홀을 형성하는 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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3
제1항에 있어서,
상기 웨이퍼에 흡입 비아홀을 형성하는 단계 다음에는,
상기 코어 비아홀 및 흡입 비아홀의 내벽에 금속 씨드층을 형성하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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4
제1항에 있어서,
상기 코어 비아홀의 깊이는 상기 흡입 비아홀의 깊이보다 깊게 형성된 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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5
제1항에 있어서,
상기 폴리머 비아홀에 폴리머 용액을 충진하는 단계는;
상기 폴리머 비아홀이 하방을 향하고, 상기 흡입 비아홀이 상방을 향하도록 상기 웨이퍼를 배치하여, 상기 웨이퍼의 하측의 일부가 상기 폴리머 용액이 채워진 용기에 잠기게 하는 단계;
상기 흡입 비아홀을 통하여 상기 흡입 비아홀 및 폴리머 비아홀 내의 공기를 흡입하여 상기 폴리머 비아홀 내에 폴리머 용액이 채워지게 하는 단계; 및
상기 폴리머 용액을 경화시키는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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6
제1항에 있어서,
상기 웨이퍼에 코어 비아홀 및 흡입 비아홀을 형성하는 단계는:
상기 웨이퍼 상에 광경화성 수지를 도포하는 단계;
상기 광경화성 수지 상에 마스크를 배치하여 현상하고, 코어 비아홀과 흡입 비아홀을 식각하는 단계; 및
상기 웨이퍼 상에 형성된 광경화성 수지를 제거하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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7
제6항에 있어서,
상기 코어 비아홀의 깊이는 상기 코어 비아홀의 직경과 비례하여 형성되는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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8
제6항에 있어서,
상기 흡입 비아홀의 깊이는 상기 흡입 비아홀의 직경과 비례하여 형성되는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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9
제6항에 있어서,
상기 웨이퍼 상의 광경화성 수지를 제거하는 단계는;
상기 웨이퍼의 상면 및 하면을 연마하여 상기 광경화성 수지를 제거하고, 상기 코어 비아홀이 상기 웨이퍼를 관통하게 하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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10
제1항에 있어서,
상기 웨이퍼에 코어 비아홀 및 흡입 비아홀을 형성하는 단계는,
상기 웨이퍼에 레이저 빔을 방출하여 상기 코어 비아홀 및 흡입 비아홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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11
제10항에 있어서,
상기 코어 비아홀 및 흡입 비아홀의 깊이는 상기 레이저 빔의 출력과 비례하여 형성된 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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12
제1항에 있어서,
상기 폴리머 용액은 108 내지 1010Ωcm의 저항값을 갖는 폴리머 충진재인 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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13
제1항에 있어서,
상기 코어 비아홀에 비아 코어를 형성하는 단계는;
상기 웨이퍼의 일측에 금속 필름을 형성하여 상기 코어 비아홀의 일측을 폐쇄시키는 단계; 및
상기 코어 비아홀을 금속으로 매립하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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14
제13항에 있어서,
상기 코어 비아홀을 금속으로 매립하는 단계에서는,
상기 코어 비아홀에 주석, 구리와, 금 중 선택된 어느 하나의 금속으로 도금하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 웨이퍼의 상측에 코어 비아홀 및 흡입 비아홀을 형성하는 단계에서,
상기 흡입 비아홀은 하나의 상기 코어 비아홀에 대해 복수 개로 형성된 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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제14항에 있어서,
상기 흡입 비아홀들은 상기 코어 비아홀의 중심을 기준으로 일정 각도마다 형성된 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 흡입 비아홀과 연통되는 폴리머 비아홀을 형성하는 단계 다음에는,
상기 폴리머 비아홀의 내벽에 금속 코팅막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 비아 제조 방법
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