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브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법

  • 기술번호 : KST2015088600
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 소자의 제조 공정 중 후공정 단계인 습식 식각 방법시 식각 과정을 모니터링하여 식각 속도와 식각 멈춤 단계에 대한 정보를 실시간으로 알아내는 방법에 관한 것이다.본 발명에서는 습식 식각 용액에 담겨진 시편에서 식각 과정 동안 레이저를 시편에 발사하여 반사되는 반사 빔의 강도를 컴퓨터로 측정하여 간섭에 의해 나타난 주기적 신호를 해석하여 식각 속도를 실시간으로 알아내는 방법이다. 레이저는 습식 식각시 시편에 열에너지를 제공하여 레이저가 닿는 시편 부위와 그렇지 않은 부위에 불균일한 식각 속도를 제공하는데 이는 적절한 초점 거리를 갖는 볼록 렌즈를 이용하여 시편 전체에 균일한 식각 속도를 갖도록 함으로서 문제점을 해결하였다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019970064811 (1997.11.29)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0250453-0000 (2000.01.04)
공개번호/일자 10-1999-0043769 (1999.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.11.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이번 대한민국 대전광역시 유성구
2 백종협 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1997.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1997-0203619-87
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1997-0203621-79
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1997-0203620-23
4 등록사정서
Decision to grant		 1999.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0376105-59
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-5055008-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

식각 용액 속에 담겨있는 시편에 레이저 빔을 조사하되, 상기 시편의 표면 전체에 균일한 빔이 조사되도록 볼록 렌즈를 이용하여 레이저 빙을 분산시켜 조사하는 단계와,

상기 시편에서 반사된 상기 레이저 빔을 볼록 렌즈를 이용하여 검출기로 입사되도록 하는 단계와,

상기 검출기에 연결된 컴퓨터를 통하여, 상기 검출기로 입사된 레이저 광의 주기적 신호를 해석하여 식각 속도를 실시간으로 감지하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 시편은 브래그 거울 구조가 형성된 표면 발광 레이저 소자인 것을 특징으로 하는 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 주기적 신호는 1 주기가 상기 시편을 구성하고 있는 브래그 거울의 1 주기인 것을 특징으로 하는 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법

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1 US06193900 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US6193900 US 미국 DOCDBFAMILY
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