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2차 이상의 고차 모드로 진동하여 발생하는 초음파를 매질 내로 방사하는 평판형 방사판;상기 방사판의 하부면에 일정한 힘을 가하여 상기 방사판을 상기 2차 이상의 고차 모드로 진동시키는 구동부; 및상기 방사판의 상부면 중 진동 속도가 양의 값을 가지는 부분에 상기 매질에서의 초음파 파장의 1/4 높이로 형성되는 조화층를 포함하는 고지향성 초음파 소자
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제 1항에 있어서,상기 방사판은 알루미늄으로 형성되는고지향성 초음파 소자
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제 1항에 있어서,상기 조화층은 실리콘, 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA) 또는 폴리머 계열의 물질로 형성되는고지향성 초음파 소자
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제 1항에 있어서,상기 조화층의 임피던스는 상기 방사판의 임피던스보다는 작고 상기 매질의 임피던스보다는 큰고지향성 초음파 소자
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제 1항에 있어서,상기 조화층은상기 방사판 위에 시트 형태로 접착한 후 패터닝하여 제작되거나, 상기 방사판 위에 유체 형태의 물질을 스핀코팅한 후 패터닝하여 제작되는고지향성 초음파 소자
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제 1항에 있어서,상기 구동부는상기 방사판의 하부면에 박막형으로 결합되는 압전 박막 구동기를 포함하는고지향성 초음파 소자
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7
제 6항에 있어서,상기 압전 박막 구동기는상기 방사판 중 상기 조화층이 형성되는 부분의 박막 하부면에는 전원전압 전극이 형성되고, 나머지 부분의 박막 하부면에는 접지전압 전극이 형성되는고지향성 초음파 소자
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8
제 1항에 있어서,상기 방사판은 1차원 선형 대칭 형태, 2차원 원형 대칭 형태 또는 2차원 다각형 형태로 형성되는고지향성 초음파 소자
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9
2차 이상의 고차 모드로 진동하여 발생하는 초음파를 매질 내로 방사하는 평판형 방사판;상기 방사판의 하부면에 일정한 힘을 가하여 상기 방사판을 상기 2차 이상의 고차 모드로 진동시키는 구동부;상기 방사판의 상부면 중 진동 속도가 양의 값을 가지는 부분에 상기 매질에서의 초음파 파장의 1/4 높이로 형성되는 제 1 조화층; 및상기 방사판의 상부면 중 진동 속도가 음의 값을 가지는 부분에 상기 매질에서의 초음파 파장의 3/4 높이로 형성되는 제 2 조화층을 포함하는 고지향성 초음파 소자
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10
제 9항에 있어서,상기 방사판은 알루미늄으로 형성되고, 상기 제 1, 2 조화층은 실리콘, 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA) 또는 폴리머 계열의 물질로 형성되는고지향성 초음파 소자
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11
제 9항에 있어서,상기 제 1, 2 조화층의 임피던스는 상기 방사판의 임피던스보다는 작고 상기 매질의 임피던스보다는 큰고지향성 초음파 소자
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12
제 9항에 있어서,상기 제 1, 2 조화층은상기 방사판 위에 시트 형태로 접착한 후 패터닝하여 제작되거나, 상기 방사판 위에 유체 형태의 물질을 스핀코팅한 후 패터닝하여 제작되는고지향성 초음파 소자
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13
제 9항에 있어서,상기 구동부는상기 방사판의 하부면에 박막형으로 결합되는 압전 박막 구동기를 포함하는고지향성 초음파 소자
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14
제 13항에 있어서,상기 압전 박막 구동기는상기 방사판 중 상기 제 1 조화층이 형성되는 부분의 박막 하부면에는 전원전압 전극이 형성되고, 상기 제 2 조화층이 형성되는 부분의 박막 하부면에는 접지전압 전극이 형성되는고지향성 초음파 소자
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