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유리기판 상에 경화성 수지를 도포한 후, 상기 경화성 수지를 나노 임프린트 몰드로 가압하여 나노 패턴을 형성하는 나노 패턴 형성단계;상기 나노 패턴의 상부를 소수성화시키고, 상기 나노 패턴의 내부를 친수성화시키는 나노 패턴 표면 처리단계;상기 나노 패턴 내부에 나노 금속 입자를 충진하는 나노 금속 입자 충진단계; 및상기 나노 패턴을 제거하여 나노 와이어 그리드 편광자를 형성하는 나노 와이어 그리드 편광자 형성단계;를 포함하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노 패턴 형성단계 이전에,상기 나노 임프린트 몰드의 표면에 이형제를 처리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 경화성 수지는 UV 수지 또는 열경화 수지인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노 패턴 표면 처리단계에서,상기 나노 패턴 상부에 소수성 수지 필름을 위치시키고, 상기 소수성 수지 필름을 열처리하여 상기 나노 패턴의 상부를 소수성화시키는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 나노 금속 입자는 나노 금속 페이스트 또는 나노 금속 잉크 형태인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 나노 금속 입자는 Ag, Al, Cu, Ti, W 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 그래핀을 포함하는 탄소 기반 페이스트인 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노 금속 입자 충진단계에서,진공 상태에서 상기 나노 패턴에 상기 나노 금속 입자를 프린팅하고, 프린팅된 나노 금속 입자를 가압하는 과정을 반복하여 상기 나노 패턴 내부에 상기 나노 금속 입자를 충진하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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8
제1항에 있어서, 상기 나노 금속 입자 충진단계와 상기 나노 와이어 그리드 편광자 형성단계 사이에,상기 나노 금속 입자를 열처리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노 와이어 그리드 편광자 형성단계에서,산소 플라즈마 공정 또는 습식 공정을 통하여 상기 나노 패턴을 제거하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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