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다중 빔 안테나 어레이를 갖는 감지 장치에 있어서:복수의 안테나를 갖는 안테나 어레이;각각의 안테나에 연결되며, 상기 각각의 안테나로부터 수신된 무선 주파수 신호를 증폭하기 위한 복수의 저잡음 증폭기;복수의 지연 라인을 가지며, 각각의 지연 라인은 상기 복수의 저잡음 증폭기의 증폭된 신호를 소정 시간(τ) 동안 지연시키는 지연 라인 박스; 및상기 지연 라인 박스의 출력 신호의 전기적 특성을 검출하기 위한 검출기를 포함하는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 안테나 어레이는 MEMS 공정으로 제조되는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 안테나 어레이는 시간 배열형(timed array)인 것을 특징으로 하는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 안테나 어레이는 해밍 안테나 어레이 방식으로 사용되는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지연 라인 박스는 상기 복수의 지연 라인의 양쪽 끝과 접지 단자 사이 연결되는 로드 저항을 포함하는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,상기 검출기는 다이오드로 구현되는 감지 장치
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제 6 항에 있어서,상기 다이오드는 millimeter wave zero bias GaAs Schottky Diode인 것을 특징으로 하는 감지 장치
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제 6 항에 있어서,상기 다이오드는 tunnel diode인 것을 특징으로 하는 감지 장치
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제 1 항에 있어서,인덕턴스 커플링을 위한 인덕터를 더 포함하며, 상기 검출기의 출력 신호는 인덕턴스 커플링에 의해 신호 전달되는 감지 장치
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