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기판;상기 기판 위에 형성되는 회절격자;상기 회절격자 위에 형성되는 고 굴절 박막; 및상기 고 굴절 박막 위에 형성되어 대기 중의 가스와 흡착하여 광학적 변화를 나타내는 가스 흡착 색소;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어서,상기 가스는 휘발성 유기 화합물 가스인 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 흡착 색소는흡착되는 가스의 종류 및 농도에 따라 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼을 변화시키는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 3 항에 있어서, 상기 가스 흡착 색소는흡착되는 가스의 종류 및 농도에 따라 상기 가스 흡착 색소의 광 투과율이 변화하여 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상의 피크의 높이 및 형태를 변화시키는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 3 항에 있어서, 상기 가스 흡착 색소는흡착되는 가스의 종류 및 농도에 따라 상기 가스 흡착 색소의 두께 또는 광 굴절률이 변화하여 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상의 피크의 위치 및 형태를 변화시키는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어서, 상기 가스 흡착 색소는5,10,15,20-tetraphenylporphyrinatozinc(II), 5,10,15,20-tetrakis (2,4,6-trimethylphenyl) porphyrinatozinc(II), 5,10,15,20-tetrakis (pentafluorophenyl) porphyrinatozinc(II), 5,10,15,20-tetrakis (2,4,6-trimethylphenyl) porphyrinatocobalt(II), 5,10,15,20-tetraphenylporphyrinatocadmium(II), 5,10,15,20-tetraphenylporphyrinatochromium(III) chloride, Bromophenol Blue + TBAH, Methyl Red + TBAH, Chlorophenol Red + TBAH, Nitrazine Yellow + TBAH, Bromothymol Blue + TBAH, Thymol Blue + TBAH,, m-Cresol Purple + TBAH, Zn(OAc)2 + m-Cresol Purple + TBAH, HgCl2 + Bromophenol Blue + TBAH, HgCl2 + Bromocresol Green + TBAH, Pb(OAc)2, 1-[4-[[4-(dimethylamino) phenyl]azo]phenyl]-2,2,2-trifluoroethanone + TsOH, D-Naphthol Red + TsOH, Tetraiodophenolsulfonephthalein, Fluorescein, Bromocresol Green, Methyl Red, Bromocresol Purple, Bromophenol Red, Rosolic Acid, Bromopyrogallol Red, Pyrocatechol Violet, Nile Red, Disperse Orange #25, 4-(4-Nitrobenzyl) pyridine + N-Benzylaniline, 4-[2-[4-(dimethylamino) phenyl]ethenyl]-2,6-dimethylpyrylium, LiNO3 + Cresol Red, Acridine Orange Base, AgNO3 + Bromophenol Blue, AgNO3 + Bromocresol Green 중 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어, 상기 공진 반사광 필터는복수의 가스 흡착 색소가 배열된 어레이 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어, 상기 기판은유리, 석영, 반도체 또는 고분자 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어,상기 회절격자의 회절 주기는 상기 공진 반사광 필터에 조사되는 광원의 평균 파장보다 짧은 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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제 1 항에 있어, 상기 고 굴절 박막은질화물, 산화물 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 공진 반사광 필터
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기판과, 상기 기판 위에 형성되는 회절격자와, 상기 회절격자 위에 형성되는 고 굴절 박막과, 상기 고 굴절 박막 위에 형성되어 가스와 흡착하여 광학적 변화를 나타내는 가스 흡착 색소를 포함하는 공진 반사광 필터;광을 생성하는 광원; 및상기 광원으로부터 생성되어 상기 공진 반사광 필터로부터 반사되거나 투과된 광을 검출하여 스펙트럼을 측정하는 스펙트로미터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 11 항에 있어서,상기 공진 반사광 필터의 가스 흡착 색소는 흡착하는 가스의 종류 및 농도에 따라 광 투과율이 변화하고,상기 스펙트로미터는 상기 가스 흡착 색소의 광 투과율 변화에 따라 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상에서 변화되는 피크의 높이 및 형태를 검출하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 11 항에 있어서,상기 공진 반사광 필터의 가스 흡착 색소는 흡착하는 가스의 종류 및 농도에 따라 두께 또는 광 굴절율이 변화하고,상기 스펙트로미터는 상기 가스 흡착 색소의 두께 또는 광 굴절율 변화에 따라 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상에서 변화되는 피크의 위치 및 형태를 검출하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 11 항에 있어서, 상기 가스 감지장치는상기 광원으로부터 생성된 광을 편광시켜 상기 공진 반사광 필터에 입사시키는 편광필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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기판과, 상기 기판 위에 형성되는 회절격자와, 상기 회절격자 위에 형성되는 고 굴절 박막과, 상기 고 굴절 박막 위에 형성되어 가스와 흡착하여 광학적 변화를 나타내는 가스 흡착 색소를 포함하는 공진 반사광 필터;발진 파장을 가변하면서 광을 출력하는 파장 가변 레이저;상기 파장 가변 레이저로부터 출력되는 광을 검출하여 스펙트럼을 측정하는 제1 광검출기;상기 파장 가변 레이저로부터 출력되는 광의 발진 파장 변화에 따라 상기 공진 반사광 필터로부터 반사되거나 투과되는 광을 검출하여 스펙트럼을 측정하는 제2 광검출기; 및상기 제1 광검출기 및 제2 광검출기에서 측정된 스펙트럼을 비교하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 15 항에 있어서,상기 공진 반사광 필터의 가스 흡착 색소는 흡착하는 가스의 종류 및 농도에 따라 광 투과율이 변화하고,상기 제2 광검출기는 상기 가스 흡착 색소의 광 투과율 변화에 따라 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상에서 변화되는 피크의 높이 및 형태를 검출하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 15 항에 있어서,상기 공진 반사광 필터의 가스 흡착 색소는 흡착하는 가스의 종류 및 농도에 따라 두께 또는 광 굴절율이 변화하고,상기 제2 광검출기는 상기 가스 흡착 색소의 두께 또는 광 굴절율 변화에 따라 상기 공진 반사광 필터의 스펙트럼 상에서 변화되는 피크의 위치 및 형태를 검출하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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제 15 항에 있어서, 상기 가스 감지장치는상기 파장 변 레이저로부터 발진한 광을 분리하는 빔 스플리터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감지장치
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