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샘플의 제 1 측면의 온도를 제어하는 고온 히터;상기 샘플의 제 2 측면의 온도를 제어하는 저온 히터;상기 고온 히터보다 작은 단위로 상기 샘플의 제 1 측면의 온도를 제어하는 미세조정 히터;상기 고온 히터, 상기 저온 히터 및 상기 미세조정 히터를 제어하고, 상기 샘플의 제 1 및 제 2 측면의 전압들을 측정하는 온도 제어 및 전압 측정부; 그리고상기 샘플의 제 1 측면에서 발생하는 고온 출력 전압 및 상기 샘플의 제 2 측면에서 발생하는 저온 출력 전압을 이용하여 상기 샘플의 열 전도도를 측정하는 열 전도도 측정부를 포함하는 열전 소자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 온도 제어 및 전압 측정부는,상기 샘플의 제 1 측면의 온도를 제어하도록 상기 고온 히터에 고온 입력 전압을 인가하는 제 1 온도 제어기;상기 샘플의 제 1 측면의 온도를 상기 고온 히터보다 작은 단위로 제어하도록 변화량 입력 전압을 인가하고, 상기 고온 출력 전압을 측정하는 제 1 측정기;상기 샘플의 제 2 측면의 온도를 제어하도록 상기 저온 히터에 저온 입력 전압을 인가하는 제 2 온도 제어기;상기 저온 출력 전압을 측정하는 제 2 측정기를 포함하는 열전 소자 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 샘플의 제 1 측면에 접촉되는 고온 평판 전극; 그리고상기 샘플의 제 1 측면의 온도를 계산하기 위해 상기 고온 평판 전극의 전압 및 전류를 측정하는 제 1 센서를 포함하고,상기 제 1 온도 제어기는 상기 샘플의 제 1 측면의 온도에 따라 상기 고온 입력 전압을 제어하고,상기 제 1 측정기는 상기 고온 평판 전극을 통하여 상기 고온 출력 전압을 측정하고, 상기 고온 출력 전압에 따라 상기 변화량 입력 전압을 제어하는 열전 소자 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 샘플의 제 2 측면에 접촉되는 저온 평판 전극; 그리고상기 샘플의 제 2 측면의 온도를 계산하기 위해 상기 저온 평판 전극의 전압 및 전류를 측정하는 제 2 센서를 포함하고,상기 제 2 온도 제어기는 상기 샘플의 제 2 측면의 온도에 따라 상기 저온 입력 전압을 제어하고,상기 제 2 측정기는 상기 저온 평판 전극을 통하여 상기 저온 출력 전압을 측정하는 열전 소자 측정 장치
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제 4 항에 있어서,상기 온도 제어 및 전압 측정부는 상기 제 2 온도 제어기보다 작은 단위로 전압 및 전류를 측정하는 제 3 측정기를 포함하고,상기 제 3 측정기는 상기 제 2 센서에 의해 측정된 상기 저온 평판 전극의 전압 및 전류에 따라 온도를 계산하는 열전 소자 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 측정기는 단위 온도만큼 변화하도록 상기 미세조정 히터를 제어하고, 상기 단위 온도의 변화에 따른 상기 고온 출력 전압을 측정하는 열전 소자 측정 장치
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7
제 1 항에 있어서,상기 열 전도도 측정부는,기준 전압을 생성하는 주파수 발생기;상기 고온 및 저온 출력 전압을 이용하여 로크-인 전압을 생성하는 열전 전압 증폭부;상기 기준 전압과 상기 로크-인 전압을 이용하여 상기 샘플의 열 전도도를 측정하는 로크-인 증폭기를 포함하는 열전 소자 측정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 열전 전압 증폭부는,상기 샘플과 직렬로 연결되고, 상기 고온 및 저온 출력 전압에서 잡음 신호를 제거하도록 저항을 조절하는 포텐셔미터; 그리고상기 포텐셔미터의 출력 전압과 상기 고온 및 저온 출력 전압을 비교하여 상기 로크-인 전압을 출력하는 비교기를 포함하는 열전 소자 측정 장치
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제 8 항에 있어서,상기 열전 전압 증폭부는,상기 포텐셔미터의 출력 전압을 증폭하여 상기 비교기에 전송하는 제 1 증폭기; 그리고상기 고온 및 저온 출력 전압의 전압 차이를 증폭하여 상기 비교기에 전송하는 제 2 증폭기를 더 포함하는 열전 소자 측정 장치
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10
제 7 항에 있어서,상기 로크-인 증폭기는 상기 기준 전압에 따라 상기 로크-인 전압을 변경하여 미리 설정된 주파수에 해당하는 열전 전압을 출력하는 열전 소자 측정 장치
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11
제 1 항에 있어서,상기 샘플의 제 1 측면은 상기 샘플의 제 2 측면과 대향하는 열전 소자 측정 장치
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기준 전압을 인가하여 샘플을 가열하는 단계;상기 가열된 샘플의 제 1 측면의 고온 출력 전압을 측정하는 단계;상기 가열된 샘플의 제 1 측면과 대향하는 상기 가열된 샘플의 제 2 측면의 저온 출력 전압을 측정하는 단계;상기 기준 전압을 참조하여 상기 고온 및 저온 출력 전압의 차이에 따라 미리 설정된 주파수를 가지는 열전 전압을 결정하는 단계를 포함하는 열전 소자 측정 방법
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