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복수의 샘플들을 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서:측정 라인과 연결되되, 상기 측정 라인에 바이어스를 인가하고 상기 측정 라인을 계측하도록 구성되는 테스팅 유닛;상기 측정 라인과 상기 복수의 샘플들을 각각 전기적으로 연결하기 위한 복수의 스위칭 유닛들; 및상기 바이어스가 상기 복수의 샘플들에 순차적으로 인가되도록 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 제어 유닛을 포함하되,상기 제어 유닛은 상기 복수의 샘플들 각각에 상기 바이어스가 인가될 때 상기 테스팅 유닛으로부터 계측된 제 1 측정값을 토대로, 상기 바이어스가 인가된 샘플이 불량인지 여부를 판별하도록 구성되는 테스트 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 복수의 샘플들 중 상기 불량으로 판별된 적어도 하나의 제 1 샘플을 제외한 제 2 샘플들이 상기 테스팅 유닛에 의해 바이어싱되도록 상기 복수의 스위칭 유닛들을 제어하는 테스트 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 제 2 샘플들이 바이어싱된 후에, 상기 제 2 샘플들에 대응하는 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시켜 상기 제 2 샘플들을 순차적으로 바이어싱하는 테스트 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 제 2 샘플들 각각이 바이어싱될 때 상기 테스팅 유닛의 계측에 따른 제 2 측정값을 토대로 해당 샘플이 불량인지 여부를 판별하도록 구성되는 테스트 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 복수의 스위칭 유닛들을 턴온시켜 상기 복수의 샘플들을 공통적으로 바이어싱한 후에, 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 테스트 장치
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제 5 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 복수의 샘플들이 공통적으로 바이어싱될 때, 상기 테스팅 유닛의 계측에 따른 제 2 측정값을 수신하고, 상기 제 2 측정값에 따라 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 테스트 장치
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제 6 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 제 2 측정값을 기준값과 비교하고 비교 결과에 따라 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 테스트 장치
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제 5 항에 있어서,상기 제어 유닛은 특정 시간 동안 상기 복수의 스위칭 유닛들을 턴온시켜 상기 복수의 샘플들을 바이어싱하고, 상기 특정 시간이 경과한 후에 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 테스트 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 스위칭 유닛들 중 어느 하나를 통해 해당 샘플에 인가되는 바이어스 값을 측정하도록 구성되는 계측기를 더 포함하되,상기 제어 유닛은 상기 계측기의 측정 값과 상기 테스팅 유닛에 의해 인가되는 바이어스 값을 비교하고, 비교 결과에 따라 상기 테스팅 유닛에 의해 인가되는 바이어스 값을 조절하도록 상기 테스팅 유닛을 제어하는 테스트 장치
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복수의 단자들을 각각 가지는 복수의 샘플들을 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서:상기 복수의 샘플들 각각의 상기 복수의 단자들 중 제 1 단자에 연결되고, 상기 복수의 샘플들의 제 1 단자들을 공통적으로 바이어싱하도록 구성되는 제 1 테스팅 유닛; 및측정 라인과 연결되되, 상기 측정 라인을 바이어싱하며 상기 측정 라인을 계측하도록 구성되는 제 2 테스팅 유닛;상기 측정 라인 및 상기 복수의 샘플들 각각의 상기 복수의 단자들 중 제 2 단자 사이에 연결되는 복수의 스위칭 유닛들; 및상기 복수의 샘플들의 제 2 단자들에 순차적으로 바이어싱되도록 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 제어 유닛을 포함하되,상기 제어 유닛은 상기 복수의 샘플들의 상기 제 2 단자들 각각이 바이어싱될 때 상기 제 2 테스팅 유닛으로부터 계측된 제 1 측정값을 토대로 해당 샘플이 불량인지 여부를 판별하도록 구성되는 테스트 장치
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제 10 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 복수의 스위칭 유닛들을 턴온시켜 상기 복수의 샘플들의 상기 제 2 단자들을 바이어싱한 후에, 상기 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시키는 테스트 장치
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제 10 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 복수의 샘플들 중 상기 불량인 제 1 샘플을 제외한 제 2 샘플들의 제 2 단자들이 바이어싱되도록 상기 복수의 스위칭 유닛들을 제어하는 테스트 장치
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제 12 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 제 2 샘플들의 상기 제 2 단자들이 바이어싱된 후에, 상기 제 2 샘플들에 연결된 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시켜 상기 제 2 샘플들의 상기 제 2 단자들을 순차적으로 바이어싱하도록 구성되는 테스트 장치
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제 13 항에 있어서,상기 제어 유닛은 상기 제 2 샘플들의 상기 제 2 단자들 각각이 바이어싱될 때 상기 제 2 테스팅 유닛의 계측에 따른 제 2 측정값을 토대로 해당 샘플이 불량인지 여부를 판별하도록 구성되는 테스트 장치
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 테스팅 유닛은 상기 제 1 단자들을 바이어싱하면서 상기 제 1 단자들을 계측하도록 구성되는 테스트 장치
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제 10 항에 있어서,상기 복수의 샘플들의 상기 제 2 단자들 중 어느 하나를 측정하도록 구성되는 계측기를 더 포함하되,상기 제어 유닛은 상기 계측기의 측정 값과 상기 제 2 테스팅 유닛에 의해 인가되는 바이어스 값을 비교하고, 비교 결과에 따라 상기 제 2 테스팅 유닛에 의해 인가되는 상기 바이어스 값을 조절하도록 상기 제 2 테스팅 유닛을 제어하는 테스트 장치
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복수의 샘플들을 테스트하는 방법에 있어서:복수의 샘플들과 바이어스 소스(bias source) 사이에 연결된 복수의 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시켜 상기 바이어스 소스로부터 상기 복수의 샘플들을 순차적으로 바이어싱하는 단계;상기 복수의 샘플들 각각이 순차적으로 바이어싱될 때, 바이어싱된 샘플의 출력값을 계측하여 상기 복수의 샘플들 중 불량인 제 1 샘플을 검출하는 단계; 및상기 복수의 샘플들 중 상기 제 1 샘플을 제외한 제 2 샘플들에 연결된 스위칭 유닛들을 공통적으로 턴온시켜 상기 바이어스 소스로부터 상기 제 2 샘플들을 바이어싱하는 단계를 포함하는 복수의 샘플들을 테스트하는 방법
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제 17 항에 있어서,상기 제 2 샘플들이 바이어싱된 후에, 상기 제 2 샘플들에 연결된 상기 스위칭 유닛들을 순차적으로 턴온시켜 상기 제 2 샘플들을 순차적으로 바이어싱하는 단계를 더 포함하는 복수의 샘플들을 테스트하는 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제 2 샘플들 각각이 바이어싱될 때 해당 샘플의 출력값을 계측하여 상기 제 2 샘플들 중 불량인 제 3 샘플을 검출하는 단계를 더 포함하는 복수의 샘플들을 테스트하는 방법
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제 17 항에 있어서,상기 복수의 스위칭 유닛들을 공통적으로 턴온시켜, 상기 복수의 샘플들을 바이어싱한 후에 상기 복수의 샘플들이 순차적으로 바이어싱되는 복수의 샘플들을 테스트하는 방법
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