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고휘도와고선명도를가지는전계발광소자의제조방법

  • 기술번호 : KST2015092906
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고 휘도와 고 선명도를 가지는 전계발광 소자의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 전계 발광소자는 투명 기판 또는 불투명 기판의 표면상에 선 형상 또는 매쉬 형상을 가지며, 측면이 경사진 패턴을 형성하고, 기판상에 투명 전극층, 제 1 절연층, 형광층, 제 2 절연층 및 금속 전극층을 차례로 적층하고, 상기 금속 전극층을 패터닝하여, 제 2 절연층의 볼록부 상평면 혹은 상평면과 경사면에 금속 전극을 형성하고, 상기 물질층들을 반대로 적층한 반전소자의 경우에는 제 1 절연층의 오목부의 상평면 혹은 상평면과 경사면에 걸쳐 투명전극을 형성하여 픽셀을 섬모양 또는 우물모양으로 형성하였다.본 발명은 기판에 패턴을 미리 형성하여 패턴의 경사진 측면이 전계발광 소자의 휘도를 증가시킬 수 있도록 배열하여 전계발광 소자를 형성함으로써 빛의 측면 손실량을 감소시키고 전면 투과량을 증가시킨다.
Int. CL H01L 33/00 (2014.01)
CPC H05B 33/10(2013.01) H05B 33/10(2013.01) H05B 33/10(2013.01)
출원번호/일자 1019970070317 (1997.12.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0282607-0000 (2000.11.29)
공개번호/일자 10-1999-0051078 (1999.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20010215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.19)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤선진 대한민국 대전광역시 유성구
2 백문철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0219958-68
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0219959-14
3 특허출원서
Patent Application		 1997.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0219957-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0030593-28
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2000-5115040-11
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.05.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5146904-69
7 의견서
Written Opinion		 2000.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2000-5146903-13
8 보정명령서
Request for Amendment		 2000.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0214181-92
9 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2000.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2000-5279745-81
10 등록사정서
Decision to grant		 2000.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0271156-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

투명 기판상에 매쉬 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십 ㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 매쉬 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 제거하고, 기판의 전면에 투명 전극층, 제 1 절연층, 형광층, 제 2 절연층 및 금속 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 금속 전극층을 패터닝하여 제 2 절연층의 볼록부의 상 평면상에 금속전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 금속 전극층이 상기 제 2 절연층의 볼록부의 상 평면 및 경사면에 이어서 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 절연층, 형광층, 제 2 절연층은 두 종류 이상의 소스 전구체간의 화학반응에 의하여 박막을 형성하는 증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법

4 4

불투명 기판상에 매쉬 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십 ㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 매쉬 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 제거하고, 기판의 전면에 금속 전극층, 제 2 절연층, 형광층, 제 1 절연층 및 투명 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 투명 전극층을 패터닝하여 상기 제 1 절연층의 오목부의 상 평면상에 투명 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 투명 전극이 제 1 절연층의 오목부의 상 평면 및 경사면상에 이어서 형성되는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

6 6

제 4 항에 있어서,

상기 제 1 절연층, 형광층 및 제 2 절연층은 두 종류 이상의 소스 전구체간의 화학반응에 의하여 박막을 형성하는 증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법

7 7

불투명 기판상에 매쉬 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 매쉬 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 패턴에 의해 형성된 기판의 오목부에 구동소자를 형성하는 공정과,

상기 구동소자의 상표면 및 오목부의 경사면에 금속 전극층을 형성하는 공정과, 상기 금속 전극층 및 기판의 표면상에 제 2 절연층, 형광층, 제 1 절연층 및 투명 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 투명 전극층을 패터닝하여 상기 제 1 절연층의 오목부의 상 평면상에 투명전극을 형성하는 공정을 포함하는 능동소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 투명 전극이 제 1 절연층의 오목부의 상 평면 및 경사면상에 형성되는 능동 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

9 9

제 8 항에 있어서,

상기 금속 전극층이 실리사이드 금속으로 형성되는 능동소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법

10 10

투명 기판상에 선 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십 ㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 선 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 제거하고, 기판의 전면에 투명 전극층, 제 1 절연층, 형광층, 제 2 절연층 및 금속 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 금속 전극층을 패터닝하여 제 2 절연층의 볼록부의 상 평면상에 금속전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한느 전계 발광소자의 제조방법

11 11

불투명 기판상에 선 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십 ㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 선 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 제거하고, 기판의 전면에 금속 전극층, 제 2 절연층, 형광층, 제 1 절연층 및 투명 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 투명 전극층을 패터닝하여 상기 제 1 절연층의 오목부의 상 평면상의 투명 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광소자의 제조방법

12 12

불투명 기판상에 선 형상을 가지는 식각 마스크를 형성하는 공정과,

상기 식각 마스크를 통해 노출된 기판을 수십 - 수백 ㎛의 폭과 수 - 수십 ㎛의 깊이로 식각하여 기판의 표면에 선 형상을 가지며, 경사진 측면을 가지는 패턴을 형성하는 공정과,

상기 패턴에 의해 형성된 기판의 오목부에 구동소자를 형성하는 공정과,

상기 구동소자의 상표면 및 오목부의 경사면에 금속 전극층을 형성하는 공정과, 상기 금속 전극층 및 기판의 표면상에 제 2 절연층, 형광층, 제 1 절연층 및 투명 전극층을 차례로 형성하는 공정과,

상기 투명 전극층을 패터닝하여 상기 제 1 절연층의 오목부의 상 평면상의 투명전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 능동소자를 구비하는 전계발광소자의 제조방법

13 13

제 12 항에 있어서,

상기 제 1 절여층, 형광층 및 제 2 절연층은 두 종류 이상의 소스 전구체간의 화학반응에 의하여 박막을 형성하는 증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.