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마스크용 글래스 링 구조에 있어서, 글래스 링과 실리콘 웨이퍼 뒷면과의 접착부위 면적을 달리하기 위하여 상기 실리콘 웨이퍼 외경 보다 작은 임의의 크기의 외경 및 이에 상응하는 임의의 내경 크기를 가지고 마스크를 지지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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마스크용 글래스 링 구조에 있어서, 글래스 링과 실리콘 웨이퍼 뒷면과의 접착 부위 형태와 면적을 달리하기 위하여 여러 구조물 또는 조각이 모여서 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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제2항에 있어서, 상기 글래스 링은 3조각, 4조각, 또는 여러 조각으로 나누어 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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제2항에 있어서, 상기 글래스 링은 글래스 링의 바닥면적이 허락하는 범위내에서 여러개의 동심 원주형 조각으로 구성된 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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마스크용 글래스 링 구조에 있어서, 글래스 링과 실리콘 웨이퍼 뒷면과의 접착면적을 축소하기 위해 표면에 소정 형태의 돌기들이 돌출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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제5항에 있어서, 상기 돌기는 글래스 링의 바닥면적이 허락하는 범위내에서 원형, 사각형, 임의의 모양 및 면적, 임의의 갯수 및 임의의 직경의 여러개의 동심 원주형중 어느 하나의 형태로 구성하는 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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제1항에 내지 제6항에 있어서, 상기 마스크는 X-선 마스크, 전자빔 셀 투사형 마스크, 이온빔 마스크로서 사용하는 것을 특징으로 하는 마스크용 글래스 링 구조
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