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기판 상에 금속 패턴을 형성하는 단계와,노출된 부분의 상기 기판을 식각하여 상기 금속 패턴과 반대 이미지의 음각 패턴을 형성하는 단계와,상기 금속 패턴을 제거하여 표면부에 음각 패턴을 갖는 금형 마스터를 완성하는 단계와,상기 금형 마스터의 표면에 접착 방지막을 형성하는 단계와,상기 음각 패턴이 완전히 매립되도록 상기 접착 방지막 상에 스탬퍼층을 형성하는 단계와,상기 스탬퍼층을 상기 금형 마스터로부터 분리하여 표면에 상기 음각 패턴과 반대 이미지의 격자 패턴이 형성된 스탬퍼를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 격자렌즈 제작용 스탬퍼 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 음각 패턴을 형성하기 위해 형성할 격자렌즈 두께만큼의 상기 기판을 식각하는 것을 특징으로 하는 격자렌즈 제작용 스탬퍼 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 접착 방지막은 금속으로 형성하는 것을 특징으로 하는 격자렌즈 제작용 스탬퍼 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 스탬퍼층은 금속 또는 폴리머로 형성하는 것을 특징으로 하는 격자렌즈 제작용 스탬퍼 제작 방법
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기판 상에 클래드 버퍼층, 코어층, 격자층 및 폴리머층을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 폴리머층 상에 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법으로 제작된 스탬퍼를 위치시키는 단계와, 상기 스탬퍼를 상기 폴리머층에 압착시켜 상기 스탬퍼의 격자 패턴과 반전된 이미지를 갖는 격자 패턴이 형성되도록 하는 단계와, 상기 스탬퍼를 제거하는 단계와, 상기 폴리머층 및 격자층을 이방성 식각하여 상기 코어층 상에 상기 격자층으로 이루어진 격자렌즈가 형성되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 클래드 버퍼층은 실리카 박막이며, 5 내지 10 마이크로미터의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 코어층은 상기 클래드 버퍼층보다 높은 굴절률을 가지는 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 격자층은 상기 코어층보다 높은 굴절률을 가지는 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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9
제 5 항에 있어서, 상기 격자층은 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 스탬퍼를 상기 폴리머층에 압착시킬 때 열 또는 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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10
제 5 항에 있어서, 상기 스탬퍼를 상기 폴리머층에 압착시킬 때 열 또는 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 스탬퍼를 이용한 격자렌즈 제작 방법
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