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전자 장치의 보호층 결함 검출 방법

  • 기술번호 : KST2015093582
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자 장치의 보호층 결함 검출 방법을 제공한다. 이 보호층 결함 검출 방법은 전극을 갖는 기판, 그리고 상기 전극 상에 보호층이 적층된 전자 장치를 제공하고; 상기 보호층 상에 전도층을 제공하여, 상기 전도층, 상기 전극, 및 상기 전도층과 상기 전극 사이의 상기 보호층을 유전체로 하는 캐패시터의 캐패시턴스를 측정하는 것을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01) G01N 27/24 (2006.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020130134091 (2013.11.06)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0052900 (2015.05.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이현구 대한민국 서울특별시 영등포구
2 황치선 대한민국 대전 유성구
3 안성덕 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-1011628-85
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0133045-16
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0048803-70
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전극을 갖는 기판, 그리고 상기 전극 상에 적층된 보호층을 포함하는 전자 장치를 제공하고; 및상기 보호층 상에 전도층을 제공하여, 상기 전도층, 상기 전극, 및 상기 전도층과 상기 전극 사이의 상기 보호층을 유전체로 하는 캐패시터의 캐패시턴스를 측정하는 것을;포함하는 전자 장치의 보호층 결함 검출 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 주성엔지니어링㈜ 산업원천기술개발사업(디스플레이) AMOLED 박막봉지용 Non-ALD 방식 저결함, 고생산성 무기박막 Passivation 장비