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정전용량 센서를 이용한 레티클 수평/수직 정렬방법

  • 기술번호 : KST2015094337
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 제작의 핵심을 이루는 스텝퍼나 스캐너와 같은 노광장비에 있어서, 실제 노광 작업을 위해 반도체 회로 패턴을 담고있는 레티클을 카세트 혹은 카트릿지로 부터 레티클 척으로 반입하였을 때, 레티클이 웨이퍼나 광학계의 상대적인 적정 위치에 올 수 있도록 레티클을 수평방향으로 정렬할 뿐만 아니라 광축 방향으로 수직 정렬을 동시에 가능케 하는 레티클 정렬 장치에 관한 것으로, 이와같은 본 발명은 정전용량 센서를 사용하여 그 장치가 비교적 간단하면서도 높은 정밀도를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G03F 7/70775(2013.01) G03F 7/70775(2013.01) G03F 7/70775(2013.01)
출원번호/일자 1019970071611 (1997.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0249789-0000 (1999.12.28)
공개번호/일자 10-1999-0052162 (1999.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20000315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
3 김보우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223573-33
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223574-89
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223575-24
4 등록사정서
Decision to grant		 1999.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0378739-21
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

정전용량 센서를 사용한 레티클 정렬 장치에 있어서, 정전용량 센서(305)를 레티클 정렬마크(306) 아래쪽에서 레티클(301)과 대향시키는 제1과정과;

레티클(301)과 정전용량 센서(305) 사이의 상대적 거리에 따른 전압차에 의해 수직 방향으로의 위치를 결정하는 제2 과정과;

수직 스테이지(203)을 통해 레티클(301)의 위치 오차를 보정하는 제3 과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서를 이용한 레티클 수평/수직 정렬방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제1 과정이후에 레티클 수평 스테이지(302)를 평면 방향으로 스캐닝 하여 레티클 정렬마크(306)의 크롬면(306)과 크롬이 없는 영역(307)이 정전용량 센서(305)를 통과하게 될 때, 정전용량 센서 출력회로를 통해 출력 되는 펄스형태의 전압변화를 검출하여 이를 수평 스테이지(303)의 위치와 대응시켜 레티클(301)의 수평방향 정렬위치를 검출하는 과정을 더 포함하여 이루어 지는것을 특징으로 하는 정전용량 센서를 이용한 레티클 수평/수직정렬방법

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

레티클 수평/수직 방향의 정렬을 위한 독립적인 센서를 각각 사용하지 않고 하나의 정전용량 센서(305)를 사용하여 레티클의 수평/수직 방향으로의 정렬을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 정전용량 센서를 이용한 레티클 수평/수직정렬방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.