1 |
1
반응원료로 사용되는 액체 반응가스 및 화염 제조를 위한 기체 반응가스를 이송가스를 이용하여 기체 상태로 제공하는 가스 공급부와, 상기 가스 공급부로부터 이송가스를 공급받으며 희토류 원소가 함유된 고체원료를 가열하여 증발시키는 항온조와, 상기 가스 공급부로부터 이송가스를 공급받으며 용해된 희토류 원소를 에어로졸 상태로 제공하는 에어로졸 발생부와, 상기 가스 공급부, 항온조 및 에어로졸 발생부와 각각의 밸브를 통해 연결된 반응실을 포함하여 이루어지며, 상기 가스 공급부로부터 제공되는 상기 액체 반응가스 및 기체 반응가스의 화염가수분해 반응에 의해 상기 반응실에 위치된 기판 상에 산화물 미립자가 증착되고, 상기 항온조 또는 에어로졸 발생부로부터 제공되는 기체 상태의 희토류 원소가 상기 산화물 미립자에 첨가되도록 구성된 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 항온조는 상기 고체원료가 저장된 보관용기와, 상기 고체원료를 증발시키기 위해 상기 보관용기를 가열하는 가열부와, 이송가스를 이용하여 상기 증발된 고체원료를 상기 반응실로 공급하는 이송배관과, 상기 이송배관에 설치된 밸브로 이루어진 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 보관용기, 이송배관 및 밸브는 금속, 세라믹, 테프론 중 어느 하나의 재질로 이루어진 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 보관용기는 다수 개인 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
5 |
5
제 2 항에 있어서, 상기 보관용기는 유리 및 석영과 같은 투명한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 고체원료는 어븀, 이트븀 등의 희토류 원소가 함유된 킬레이트이며, 200℃ 이하의 온도로 가열되어 증발되는 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 항온조는 전면이 투명한 재질로 제작되며, 내부에는 전등이 구비된 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 반응실에는 화염 제조를 위한 반응 토치가 구비된 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|
9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 에어로졸 발생부는 상기 용해된 희토류 원소를 기체 상태로 만들기 위한 초음파 발진 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조를 위한 화염가수분해 장치
|