온도변화에 따른 반도체 에너지 갭 측정 장치에 있어서, 반도체 시편을 저온으로 유지시키기 위한 저온유지수단(100); 상기 저온유지수단 내의 반도체 시편에 연속인 일정대역의 광을 투사하는 쾅투사수단(200), 상기 반도체 시편에 투사된 연속인 일정대역의 광이 반도체 시편의 온도에 따라 흡수 또는 투과되는 정도를 영상화하는 영상처리수단(300)을 구비하는 것을 특징으로 하는 온도변화에 따른 반도체 에너지 갭 측정 장치

제1항에 있어서, 상기 광투사수단(200)은 단색광의 입력광원인 할로겐램프(1); 상기 할로겐램프에서 투사되는 빛을 모으는 집광렌즈(2); 및 상기 집광렌즈의 빛을 다색광화하는 다색광원(polychrometor, 3)을 구비하는 것을 특징으로 하는 온도변화에 따른 반도체 에너지 갭 측정장치

저온유지수단(100), 광투사수단(200), 영상처리수단(300)을 구비하여 에너지 갭의 온도 특성 변화를 영상화하는 장치에 적용되는 온도변화에 따른 반도체 에너지 갭 측정 방법에 있어서, 영상의 X축을 파장(λ)값으로 대응시킨 후, Xgap을 나타내는 적절한 픽셀값을 측정 프로그램에 설정하는 제1단계(21); 상기 제1단계 수행 후, 측정 시편으로 영상작업을 수행하는 제2단계(22); 상기 제2단계 수행 후, 화상 모니터(7)상의 영상을 프레임 메모리(8)에 기억시킨 후, 화상모니터상의 영상에서 X측을 따라 픽셀값을 주사하는 제3단계(23); 상기 제3단계 수행 후, 상기 주사한 픽셀값을 갭을 나타내는 Xgap와 비교하여 일치하지 않으면 단계 2내지 단계 4를 반복수행(단계4', 34)하는 제 4단계: 상기 제4단계 후, 일치하게 되면 그때의 X좌표를 상기 λ =f(X)의 알고리즘을 통해 λgap을 구한 후 이를

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