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임프린트용 진공척

  • 기술번호 : KST2015096258
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 임프린트용 진공척은 지지대, 지지대 위에 위치하는 복수의 밀봉링, 밀봉링과 각각 연결되어 있으며 상기 밀봉링의 높이를 각각 조절하는 미세 조절 장치를 포함한다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70708(2013.01) G03F 7/70708(2013.01) G03F 7/70708(2013.01) G03F 7/70708(2013.01) G03F 7/70708(2013.01)
출원번호/일자 1020110135627 (2011.12.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0068453 (2013.06.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0998942-30
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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지지대,상기 지지대 위에 위치하는 복수의 밀봉링,상기 밀봉링과 각각 연결되어 있으며 상기 밀봉링의 높이를 각각 조절하는 미세 조절 장치를 포함하는 임프린트용 진공척
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.