맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

반도체기판의분포저항및불순물농도측정방법

  • 기술번호 : KST2015098009
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1019890011896 (1989.08.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0053541-0000 (1992.08.04)
공개번호/일자 10-1991-0005417 (1991.03.30) 문서열기
공고번호/일자 1019920003827 (19920515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1989.08.21)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양전욱 대한민국 충청남도대전시대덕구
2 심규환 대한민국 대전시서구
3 최영규 대한민국 대전시유성구
4 이재신 대한민국 대전시서구
5 이진희 대한민국 충청남도대전시대덕구
6 박철순 대한민국 대전시유성구
7 강진영 대한민국 대전시유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전시유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1989.08.21 수리 (Accepted) 1-1-1989-0069836-01
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1989.08.21 수리 (Accepted) 1-1-1989-0069835-55
3 특허출원서
Patent Application		 1989.08.21 수리 (Accepted) 1-1-1989-0069834-10
4 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1992.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1989-0036830-58
5 등록사정서
Decision to grant		 1992.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1989-0036832-49
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반도체 기판(1)에 경사각(α)을 갖는 사면(1a)을 형성하여 두개의 탐침으로 분포 저항을 깊이 방향으로 측정하도록 한 반도체 기판의 분포저항 및 불순물 농도 측정방법

2 2

제 1 항에 있어서, 깊이 방향으로 측정한 분포저항으로 각 지점에서의 불순물 분포를 알 수 있도록 한 반도체 기판의 분포저항 및 불순물 농도 측정방법

3 3

반도체 기판(1)에 X-Y와 X-Z 평면상으로 각 경사각(α), (β)를 갖는 경사면(1b)를 형성하여 깊이 방향과 수평 방향으로의 분포저항을 이차원적으로 측정하도록 한 반도체 기판의 분포저항 및 불순물 농도 측정 방법

4 4

제 3 항에 있어서, 깊이와 수평 방향으로 측정한 분포저항을 각 지점에서의 불순물 분포를 이차원적으로 알 수 있도록한 반도체 기판의 분포저항 및 불순물 농도 측정 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.