맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

광도파로 플랫폼 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015098860
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광도파로 플랫폼 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판 상부에 하부 클래드층 및 중심 코아층을 적층하고 상기 중심 코아층을 패터닝하여 코아를 형성한 후 상부 클래드층을 형성하여 광도파로를 형성하는 단계와, 상기 상부 클래드층 상부에 제 1 마스크층을 형성한 후 상기 상부 클래드층, 중심 코아층 및 하부 클래드층의 소정 영역을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 트렌치내의 상기 하부 클래드층 상부의 소정 영역에 제 2 마스크층을 형성한 후 이를 마스크로 상기 하부 클래드층을 소정 깊이로 식각하여 테라스를 형성하는 단계와, 상기 제 1 및 제 2 마스크층을 제거한 후 상기 테라스상에 솔더 패더 및 전선 형성을 위한 금속막을 형성하는 단계와, 상기 솔더 패더를 형성하기 위한 금속막 상부에 솔더를 형성한 후 용융시켜 광소자를 실장하고, 금속선을 이용하여 전극에 접속시키는 단계를 포함하여 이루어져, 광도파로의 손상 없이 보다 간단한 방법으로 제조될 수 있으며 제조 단가를 낮출 수 있는 광도파로 플랫폼 및 그 제조 방법이 제시된다.광도파로, 플랫폼, 테라스, 하이브리드 집적
Int. CL G02B 6/13 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020046732 (2002.08.08)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0427582-0000 (2004.04.06)
공개번호/일자 10-2004-0013694 (2004.02.14) 문서열기
공고번호/일자 (20040428) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.08.08)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박상호 대한민국 대전광역시유성구
2 신장욱 대한민국 대전광역시유성구
3 박윤정 대한민국 서울특별시동대문구
4 김덕준 대한민국 대전광역시서구
5 한영탁 대한민국 대전광역시서구
6 성희경 대한민국 대전광역시유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-0255824-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0015470-70
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0121830-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기판;

상기 기판 상부의 일 영역에 하부 클래드층, 도파로가 패턴된 중심 코아층 및 상부 클래드층이 적층된 광도파로;

상기 기판 상부의 다른 영역에 상기 하부 클래드층을 패터닝하여 형성된 테라스;

상기 테라스 상부에 형성된 금속 및 솔더; 및

상기 금속 및 솔더를 포함한 상기 테라스 상부에 실장된 광소자를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 테라스는 상기 기판 상부에 형성된 상기 상부 클래드층, 중심 코아층 및 하부 클래드층의 소정 영역을 식각하여 형성된 트렌치내에 형성되는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 트렌치내에 상기 테라스를 형성할 때 광소자 정렬을 위한 정렬키를 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼

4 4

기판 상부에 하부 클래드층 및 중심 코아층을 적층하고 상기 중심 코아층을 패터닝하여 코아를 형성한 후 상부 클래드층을 형성하여 광도파로를 형성하는 단계;

상기 상부 클래드층 상부의 소정 영역에 제 1 마스크층을 형성한 후 이를 마스크로 상기 상부 클래드층, 중심 코아층 및 하부 클래드층의 소정 영역을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;

상기 트렌치내의 상기 하부 클래드층 상부의 소정 영역에 제 2 마스크층을 형성한 후 이를 마스크로 상기 하부 클래드층을 소정 깊이로 식각하여 테라스를 형성하는 단계;

상기 제 1 및 제 2 마스크층을 제거한 후 상기 테라스상에 솔더 패더 및 전선 형성을 위한 금속막을 형성하는 단계; 및

상기 솔더 패더를 형성하기 위한 금속막 상부에 솔더를 형성한 후 용융시켜 광소자를 실장하고, 금속선을 이용하여 전극에 접속시키는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

5 5

제 4 항에 있어서, 상기 하부 클래드층, 중심 코아층 및 상부 클래드층은 굴절률이 조절된 실리카막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

6 6

제 4 항에 있어서, 상기 트렌치는 건식 식각 공정에 의해 형성되며, 상기 광소자의 출력과 상기 광도파로 코아의 중심이 수직 방향으로 정렬되도록 그 깊이를 조절하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

7 7

제 4 항에 있어서, 상기 트렌치를 형성하여 노출되는 상기 광도파로의 측벽은 표면 조도를 파장의 1/10 보다 작게 하여 광학적으로 거울면이 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

8 8

제 4 항에 있어서, 상기 금속막은 Ti/Pt/Au 또는 Ti/Ni/Au 금속막을 순차적으로 열증착 또는 전자빔 증착 방법에 의하여 형성하고, 리프트-오프 방법을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

9 9

제 4 항에 있어서, 상기 솔더는 InPb, PbSn 또는 AuSn 등의 합금으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

10 10

제 4 항에 있어서, 상기 광소자의 실장시 상기 광소자의 중심축과 상기 광도파로의 중심축을 정렬하되, 수직 방향으로의 정렬은 상기 트렌치의 식각 깊이로 정렬하고, 수평 방향으로의 정렬은 상기 테라스 식각시 형성되는 정렬키와 상기 광소자에 형성된 정렬키를 사용하여 정렬하는 것을 특징으로 하는 광도파로 플랫폼 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US06839497 US 미국 FAMILY
2 US20040028312 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2004028312 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US6839497 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.