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평면형 광소자용 채널 도파로 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015100888
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광소자용 채널도파로의 제조방법에 있어서, 채널도파로 식각률을 높일 수 있고, 균일한 식각률 및 높은 생산성을 얻을 수 있는 채널도파로 제조 방법을 제공한다.본 발명은 채널 도파로의 식각률과 식각 균일성을 높이기 위해, 채널도파로 형성용 물질층의 패터닝시 채널도파로의 양측 일부 영역만을 소정의 폭으로 제거하여 갭을 형성하고, 채널도파로 형성영역이외의 부분의 채널도파로 형성용 물질층을 그대로 남겨 다아크 필드를 형성한다.이와 같이 채널도파로의 측면 일부영역만을 제거하여 채널도파로를 형성하는 것에 의해 식각되는 영역이 종래의 기술에 비하여 감소되므로 채널도파로를 식각하기 위한 공정시간을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있을뿐만아니라 소자내의 식각 균일도를 높여 광소자의 광특성을 향상시킬 수 있다.
Int. CL G02B 6/136 (2006.01)
CPC G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01) G02B 6/136(2013.01)
출원번호/일자 1019970071606 (1997.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1999-0052157 (1999.07.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.22)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박상호 대한민국 대전광역시 유성구
2 신장욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 정명영 대한민국 대전광역시 유성구
4 최태구 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223559-04
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223560-40
3 특허출원서
Patent Application		 1997.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1997-0223558-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0127383-99
5 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 2000.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0228951-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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기판과, 기판상에 차례로 형성되어 있는 버퍼 클래드층, 채널 도파로 및 상부 클래드층을 포함하는 광소자의 채널도파로 제조 방법에 있어서,

상기 채널 도파로의 양측을 광커플링을 방지할 수 있는 소정의 폭으로 식각하여 갭을 형성하고, 나머지 부분의 채널도파로 형성물질층을 잔존시켜 다아크 필드를 형성하는 것을 특징으로 하는 광소자의 채널 도파로 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.