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지름이 10㎛ 내지 100㎛인 산화마그네슘(MgO) 및 금속산화물 분말을 제조하는 단계,상기 제조된 분말을 기계적으로 혼합하여 혼합분말을 제조하는 단계,상기 혼합분말을 분말주입가스(carrier gas)와 함께 RF(Radio Frequency) 플라스마(Plasma) 연소장치에 주입하는 단계,상기 RF 플라스마 연소장치에 중앙가스(central gas), 차단가스(sheath gas)를 공급하는 단계,상기 RF(Radio Frequency) 플라스마(Plasma) 연소장치에 급랭가스(quenching gas)를 공급하는 단계를 포함하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 산화물은 알칼리 토금속 산화물 또는 산화알루미늄이 첨가된 알칼리 토금속 산화물인 나노분말 제조방법
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제2항에 있어서,상기 혼합분말은 알칼리 토금속 산화물 분말의 양 또는 상기 산화알루미늄(Al2O3)이 첨가된 알칼리 토금속 산화물 분말의 양이 0
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 알칼리 토금속 산화물은 산화칼슘(CaO)인 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 중앙가스 및 급랭가스는 불활성 기체이고,상기 차단가스는 불활성 기체 및 산소의 혼합 기체이며,상기 분말주입가스는 산소인 나노분말 제조방법
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제5항에 있어서,상기 중앙가스는 5~40slpm으로 공급하고,상기 급랭가스는 50~400slpm으로 공급하며,상기 차단가스는 불활성 기체 10~80slpm 및 산소 10~100splm가 혼합하여 공급하고,상기 분말주입가스는 5~40slpm으로 공급하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 RF 플라스마 연소장치에 15~150KW의 전력을 공급하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 플라스마 연소장치는 혼합된 분말을 분사하는 노즐 및 RF(Radio Frequency)에너지를 발생하는 유도 코일을 포함하고,상기 노즐 및 유도코일 중앙부의 간격이 0
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제1항에 있어서,상기 제조된 나노분말을 성형 및 소결하는 단계를 더 포함하는 증착 타겟(target) 제조방법
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제1항의 방법으로 제조된,금속 산화물이 도핑(doping)된 산화마그네슘(MgO) 나노분말
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제10항에 있어서,상기 금속 산화물은 산화칼슘(CaO) 또는 산화칼슘(CaO) + 산화알루미늄(Al2O3)인 산화마그네슘 나노분말
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지름이 10㎛ 내지 100㎛인 산화마그네슘(MgO), Ca0 및 산화알루미늄(Al2O3)분말을 제조하는 단계,상기 제조된 각각의 분말을 산화칼슘(CaO) 및 산화알루미늄(Al2O3) 분말의 합이 0
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제12항에 있어서,상기 제조된 나노분말을 성형 및 소결하는 단계를 더 포함하는 증착 타겟(target) 제조방법
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제12항의 방법으로 제조된,산화칼슘(CaO) 및 산화알루미늄(Al2O3)가 도핑된 산화마그네슘(MgO) 나노분말
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